中古 NIKON NSR 2205 EX14C #293603626 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される集積回路（IC）の製造用に設計された先進的なUV （UV）ウェハステッパーフォトリソグラフィ装置です。このシステムは、高度な光学技術と精密なモーションコントロール技術を組み合わせて、ウェーハに正確に画像を投影します。単位の決断そして正確さはウェーハで印刷される特徴の精密な一直線を保障します。NIKON NSR-2205EX14Cは、幅広い用途に最適な汎用性の高いハイエンドウェーハステッピングマシンです。NSR-2205 EX14Cウェーハステッパーには、光学的に補正された4x還元光学アセットで構成されるNSR-S307Eシリーズ還元投影光学素子であるツールコンポーネントが装備されています。これにより、クローズアップから無限大まで優れた画質を提供し、画像アスペクト比は1：1です。光学モデルには、1対の回転対称レンズ、1対のオブジェクトと1対の画像が含まれています。レンズは、高品質の画像を提供する収差を減らすために光学的に修正されたaspheresです。NIKON ELECTRONICS HOUSING SYSTEMS （NEHS）は、ステッパー装置のレイアウトと制御に独自のアプローチを提供しています。NEHSは、半導体ウェーハ露出用の剛性フレームを提供し、ウェーハの反りを低減し、ウェーハ表面の正確な真空通気とメンテナンスを可能にします。また、最新のNIKONイメージモニターユニット（IMS）を搭載しており、レンズや機械素子の変位、温度、ガス組成に関係なく、ウェーハ表面に正確に整列した画像を保持します。NSR 2205 EX 14 Cは、高い位置決め精度を保証する高精度ツールコントローラを搭載しています。このデュアルセントラルプロセッサ資産は、毎秒最大1,000個の電気光学命令を処理することができ、極めて応答性と精度を提供します。ステッパーにはNIKON Scaling Drive Model （SDS）も装備されており、装置のイメージング精度は、超微細線幅アプリケーションを含むさまざまなリソグラフィープロセスの設計仕様に適合することができます。NIKON NSR 2205 EX 14Cは、直径200mmまでの基板加工が可能です。これは、窒素冷却真空コールドブロックと365nm〜435nmの波長範囲で動作する加熱LED露光源で設計されています。DLT （Dual Lithography Table）は2つのテーブルを持ち、1時間あたり30ウェーハの速度でウェーハ交換スキャンを行うことができます。要するに、NIKON NSR-2205 EX 14 Cは、最先端の光学ユニット、最新の制御システム、および高精度の処理能力を備えた先進的なUVウェーハステッピングシステムです。超微細線幅を必要とするリソグラフィ用途に最適で、優れた画質と精度を提供します。