中古 NIKON NSR 2205 EX14C #293591967 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、集積回路の製造に使用される最先端のウェーハステッパーです。ウェーハステッパーは、その高度な機能とオートメーションで高品質のフォトリソグラフィを提供します。これは、ステージの正確かつ正確な動きを保証するユニークなデジタルサーボモーター機器を内蔵しています。デジタルサーボモーターシステムには、2つの運動軸と1つの回転軸が含まれており、与えられたパターンの正確かつ正確なアライメントを可能にします。ステッパーはレーザーアライメントユニットを使用して、印刷エリアセンターとの正確なアライメントを保証します。ステッピングマシンには4軸の幾何学的補正ツールもあり、プロセス関連のモータやステージのばらつきによるパターン歪みの補正が可能です。このアセットを使用すると、複数のパターンのグループを一度に印刷することができます。また、同じパターンを複数回繰り返すことができるステップアンドリピート録画方法も使用できます。生産能力と再現性を向上させます。ステッパーには、リップルとノイズを最小限に抑える低振動モデルもあります。ニコンNSR -2205EX14Cのレーザーアライメント装置にはレーザーヘッド2個とビーム2個が搭載されており、迅速なセットアップとスループットの向上を実現しています。ウェーハサイズが変更されても、配置精度は走行全体にわたって変化しません。さらに、ステッパーにはデジタル画像光源を使用した高いNA（数値開口）照明システムを搭載し、斜め・逆撮像の両方に使用できます。NSR-2205 EX14Cは、今日の半導体製造プロセスの高い要求を満たす信頼性の高い高精度ステッピングユニットです。NIKONの高度な光処理技術と緻密なハウジング設計により、これらのプロセスに必要な精密なフォトリソグラフィを可能にします。ステッパーは、最大スループットと最小ダウンタイムのために自動化された制御と最小限のメンテナンスを利用して、大量生産用に設計されています。