中古 NIKON NSR 2205 EX14 #9243870 を販売中

ニコンNSR 2205 EX14は、半導体産業におけるフォトリソグラフィ加工プロセスの高精度な位置決め要件を満たすように設計されたウェハステッパーです。半導体ウェーハ上のリソグラフィックパターンを、比類のない精度とスピードで生成することができます。NIKON NSR-2205 EX14は、優れたNIKON対物レンズと5 μ m以内の可動範囲が平坦なステージを使用した、NIKON精密な光学投影構造をベースとしています。クイックチェンジアライメントシステムにより、4インチウェーハと6インチウェーハを素早く切り替えることができ、フロントオープン設計により、簡単なローディングと効果的なアライメントを短時間で実現します。NSR-2205 EX 14には、パターン欠陥の自動追跡と修正を可能にする自動パターン認識プログラムがあります。さらに、高度なデジタル信号処理システムを使用して、精度を確保し、リソグラフィープロセスを完了するのにかかる時間を短縮します。NIKON NSR 2205 EX 14は、高精度の8軸ステージと高速フォーカスアライメント機能を備えています。これにより、幅広い基板サイズと技術に最適な焦点を当てた高精度パターニングを実現します。さらに、独自のインジェクションロック&レンズシステムは、低軸のロックフォースを提供し、長期間にわたって正確で安定した位置決めを実現します。さらに、NSR-2205 EX14にはマルチステージマッピングプログラムが装備されており、ウェハパターンのずれをすばやく特定し、迅速に修正することができます。これにより、線のエッジや線の幅の粗さなど、重要なパターン特性をより厳しくプロセス制御できます。最後に、NSR 2205 EX 14は、制御ツールの完全なスイートを備えているため、既存の製造ラインに簡単に統合できます。また、APCやAutoPCなどのサードパーティ製ソフトウェアにも対応でき、最適化されたパターン制御とプログラマブルなプロセスオートメーションが可能です。