中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9356972 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12Bウェーハステッパーは、半導体関連の製造プロセス向けの最先端のハイエンドウェーハステッパーです。NIKON NSR-2205EX12Bは、高度なレーザー最適化された光学投影装置と正確なアライメント機能により、リソグラフィ、フォトレジスト開発、臨界生物学的および化学的基板、フォトレジストパターン開発などの重要な半導体製造ステップにおいて、最高の解像度、精度、精度を提供するように設計されています。NSR-2205 EX12Bは、12インチ（305 mm）投影領域を備えたダイレクトドライブステッパーです。これは、0。70の数値開口率（NA）と、従来のシステムよりも高解像度のリソグラフィーパターンを生成する改良された光学セットアップを備えています。テーブルは光学的に整列され、正確に制御された動きを提供し、より正確な整列と一貫したバッチ精度をもたらします。レンズシステムは最高の安定性のために微調整され、単位は良いピッチおよび小さい特徴のための二重レーザーの照明のために形成することができます。NIKON NSR 2205EX 12Bは、最大線幅0。5ミクロンの高解像度画像を生成することができます。これは、ステージ精度を向上させた新しいレチクル精度向上ユニットとスキャナ制御装置を組み合わせて実現しました。このスキャナ制御ツールは、複数のオーバーレイを処理できるため、フォトマスクのアライメントエラーを防ぎ、オーバーレイの再現性を向上させます。NSR-2205 EX 12 Bは、完全に均一な24ビットのカラー出力パネルを誇り、超安定性4,000レベルのグレーレベルを備えています。これにより、従来のウェーハステッパーよりも優れたパターン認識が可能になり、より迅速で効率的なリソグラフィックパターニングが可能になります。また、洗練されたユーザーフレンドリーなメニュー駆動のグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えているため、オペレータは主要なコマンドや設定に素早く簡単にアクセスでき、生産性が向上します。要するに、NIKON NSR-2205 EX12Bは、あらゆる半導体や微細加工プロセスに最適な高精度のウェーハステッパーです。その光学性能の向上、高度なレーザー最適化されたプロジェクション資産、正確なアライメント機能により、優れた精度、解像度、再現性が保証されます。