中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9265226 を販売中
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ID: 9265226
ヴィンテージ: 1997
DUV Stepper
Resolution: 280 nm
N.A: 0.55
Exposure light source KrF: Excimer laser (248 nm)
Reduction ratio: 1:5
Exposure field: 22 mm Square to 17.9 mm (H) x 25.2 mm (V)
Alignment accuracy (EGA): 55 nm
Robot arm, P/N: DDCVR-CR1041
Laser head
Alignment systems:
LSA
FIA
CYMER ELS5400 Laser
Lens type: 5EB2
LSA / FIA
Table leveling: AF
Reticle table: 56-6
CYMER EX Laser
Illumination units:
5EB2 IU
CYMER BMU
SHRINC Printed circuit board
RA: 5EB2 RA6
RLIB-ADP: Straight ARM 6
Ceramic wafer holder, 6"
Control rack
Power rack and power supply
LIA
WL3 Type carrier table: Right
Accessories
Wafer loader: Type 3
Pre-alignment 6: Type 3
Wafer loader 6: Type 3
In-line type: Left
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12Bは、半導体リソグラフィ専用に開発された、高精度で費用対効果の高い深紫外線(DUV)ウェハステッパーです。このステッパーは、0。15ミクロンの最先端の解像度と最大2000ウェハ/時間のスキャン速度を提供します。線幅70nmまでのデバイスの製造に使用でき、先進的な半導体アプリケーションに適しています。ステッパーは、ArFエキシマーおよびF 2レーザーを含むDUVブロードバンド光源のフルレンジ用に設計されており、生産および開発アプリケーションに使用できます。NIKON NSR-2205EX12Bは、13インチスキャナと10段のリニアインデクサで設計されており、1層あたり最大8枚の露出で非常に精度の高いパターンを撮影することができます。また、デュアルビームスキャンシステムを備えており、10Xモードと15Xモードで同時にイメージングすることができ、ステッパーが優れたエッチング解像度を提供することができます。高精度で低ノイズレベルで、正確な基板アライメントを実現します。このステッパーには信頼性の高い欠陥検査システムが装備されており、スキャンパラメータを自動的に調整してスループットを最大化し、ショットサイズの変動を最小限に抑えることができます。このステッパーはまた、低動作温度、振動のない動作、室温フィルターとの互換性など、さまざまな環境上の利点を提供します。さらに、低消費電力と低ノイズレベルの最適化された照明システムを備えています。大容量プラズマ生成システムとの互換性が高く、大容量リソグラフィに適しています。また、コンピュータ支援設計ソフトウェアへのデータのオフロードもサポートしており、ユーザーは設計を迅速かつ正確に変更することができます。これらの機能はすべて、NSR-2205 EX12B半導体を扱う人々にとって、費用対効果が高く信頼性の高い選択肢となります。長期間の精度と精度のために設計されており、深いUVイメージング機能により、高度なデバイス製造に適しています。このステッパーは、ウェーハイメージング要件に対応する高性能ソリューションをお探しのお客様に最適な選択肢です。
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