中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9251032 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12Bウェーハステッパーは、半導体リソグラフィの先進的なツールです。このツールは、高精度で信頼性の高いイメージング性能で有名です。半導体業界の大規模生産に理想的な高信頼性マシンであり、迅速かつ高い再現性を必要とします。それは2つのコンポーネントで構成されています。光学と交換可能な光学カラムを収容する本体。本体は、湿度範囲が15〜80％の周囲温度範囲の16-30Cなど、ハイエンドな機能を多数備えています。キャビネットはまた作り付けのモーターを備えられた層流の浄化装置および冷却装置が付いている自動クリーニングを特色にします。これに加えて、本体の寸法は804x1110x1579mmで、重量は約990kgです。交換可能な光学カラムは、パワーズームユニットを備えており、高解像度のイメージングを提供しているため、高度なチップ製造に最適です。電子乗算質量分光計の技術を利用して、用量を正確に測定することができます。コラムには、優れた均一性を持つ画像を生成するソリッドフィールドレンズマシンが装備されており、露出均一性が向上しています。このコラムには、振動干渉を低減するための防振ツールも含まれています。また、NIKON NSR-2205EX12Bは、広視野画像や自動レンズ配置アセットなど、幅広いアライメント機能を提供しています。また、可変露光時間、可変露光分解能、可変露光速度、可変露光量などの高度なイメージング機能を備えています。露光光源は、狭帯域HEまたはXeエキシマレーザーのいずれかから選択できます。結論として、NSR-2205 EX12Bは、正確で高い再現性と信頼性の高い結果を必要とする高度なチップ製造に最適です。ハイエンド機能、露出機能、高度なアライメントシステムにより、大規模な生産アプリケーションに最適です。