中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9238472 を販売中
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NIKON NSR 2205 EX12Bは、高度なノード半導体デバイスを製造するために設計された高速先進ステッパー装置です。ニコンが開発したNSR-S202Xシリーズのステッピングプラットフォームの一部です。このシステムには、ステッピングプロセスを正確に制御するためのさまざまな機能が装備されています。このユニットはKrFエキシマレーザーを使用して、正確な非接触アライメントを実現しています。これにより、リソグラフィの正確な動きとパターンが可能になります。レーザーはまた、より大きなフィーチャーサイズの精度を向上させることができます。機械にまたステッピングモーター電圧を50％まで減らす涼しいステップ電圧減少の技術があります。これにより、低い振動とより正確なパターニングが保証されます。NIKON NSR-2205EX12Bは、ウェーハをより高解像度にスキャンすることができる現場ウェーハステージを備えています。これにより、機能サイズが小さくなり、精度が向上します。また、200,000ショットの自動アライメントツールがあり、12 Bステップすべてを自動的に配置します。アセットには高精度の外縁アライメントモデルが付属しており、リソグラフィープロセスを正確にアライメントできます。この装置はまた、任意の不規則なパターンを検出するin-situステージ安全スキャン機能を備えています。NSR-2205 EX12Bには、さまざまなレンズオプションも付属しています。NIKON Optical DesignおよびImagingソフトウェアが含まれており、高解像度光学設計の最適化と低減を可能にします。このシステムは産業用に設計されており、さまざまなオプションのアクセサリーが付属しています。これらには、高速で高精度なスキャン戦略と高度なコントロールパネルが含まれます。さらに、ニコンは、ユニットのための専門的なカスタマーサービスとテクニカルサポートを提供しています。NIKON NSR-2205 EX 12 Bステッパーは、精度と効率を向上させるための幅広い先進的な機能と技術を提供します。それはいろいろ大量の適用および技術のために適しています。このマシンは、リソグラフィープロセスの正確な制御と高精度のアライメントとスキャン機能を提供します。さらに、このツールにはさまざまなレンズオプションとさまざまなアクセサリーが付属しています。その結果、さまざまな高度なノードの半導体デバイス製造アプリケーションに最適です。
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