中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9238314 を販売中
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NIKON NSR 2205 EX12Bは、さまざまなリソグラフィのニーズに対応するように設計されたウェーハステッパーです。高度な自動化、高解像度イメージング、優れた再現性を提供します。ステッパーは、高度なEビームホットフィールド装置を使用して、ウェーハの精密な微調整と表面の非常に微細な画像処理を行います。NIKON NSR-2205EX12Bのステージは、最大12インチのウェーハサイズに対応し、ウェーハの正しい成膜を容易にする真空チャックを装備しています。ステッパーの高度なEビームシステムは、ウェーハ上の複数の露出の最高精度、均一性、再現性を提供するように設計されています。イメージング解像度は0。4ミクロンで、パターンやレイヤーの非常に細かいイメージングが可能です。グリッドスキャンやランダムスキャンなどの高度なスキャンモードも実行できます。NSR-2205 EX12Bには、ユーザーに微調整機能を提供するための波形ジェネレータが内蔵されています。このマシンはユーザーフレンドリーで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)と大きなLCDカラーディスプレイを備えています。このツールの高度なオートメーション機能により、ステッパーの機能のセットアップ、操作、監視を迅速かつ簡単に行うことができます。NSR-2205 EX 12 Bには、オプションの高速、大容量ハードドライブ、および高性能CPUが搭載されています。ディザリングオプション、マルチサンプルオプション、後方互換性オプションなど、いくつかの高度な機能を提供しています。ステッパーには、ユーザー定義のレシピを作成できるソフトウェアが装備されています。NSR 2205 EX12Bは、最も厳しいリソグラフィ用途向けに設計された、高度で高解像度のウェーハステッパーです。高解像度イメージング、ファインアライメント機能、優れた再現性により、高度な製造および研究環境に最適です。
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