中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9235132 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12B
ID: 9235132
KrF Stepper Non-functional.
NIKON NSR 2205 EX12Bは、電子デバイスの製造および組立において、半導体ウェーハにパターンを正確に転送するために使用される洗練されたウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、12インチの解像度、統合された光学系、および高速かつ正確にステージの長距離を移動する能力を備えています。NIKON NSR-2205EX12Bの高精度ステージは、5nmの最小ステップサイズと5nmの最小リピート精度で、卓越した精度を提供します。このステッパーは、XY平面で最大2800mm、 Z軸で最大1000mmのステージ速度で毎秒500mmまで移動できます。EX12Bの統合された光学システムNSR-2205大きい多様性を提供します。LCD-LED照明システムは、照らされたスリットスキャンアライメントとLEDリアルタイム自動焦点を含む最先端の光学機能強化のための均一で明るい露出を提供します。ステッチとオーバーレイが高精度でスループットを必要とするパターン化されたウェーハに最適なステッパーです。NSR-2205EX12Bの高速、大容量の性能は効率を最大にします。6チャンネルのビーム配信システムには、3つの電子ビーム、2つの光線、1つのレーザービームが含まれており、複雑なパターンの高速処理が可能です。さらに、その大きなフィールドサイズと低倍率機能は、マイナーな欠陥を修正することが容易になります。NIKON NSR 2205EX 12Bは、オンボードオートアライメント、パルス同期オートアライメント、欠陥検査などの高度な機能を搭載しています。これらの追加機能は、スループットを向上させ、ウェーハの損傷を軽減するのに役立ちます。専用メモリと高速通信処理能力により、迅速なパターン検証と即時データ転送が可能です。全体として、NSR-2205 EX 12 Bは半導体デバイスの製造と組立に理想的なウェーハステッパーです。その高度な性能、人間工学的設計、および統合された光学系は、優れた精度、高速、および広い視野を提供します。ステッパーの強力な処理能力と追加機能により、ウェーハの損傷を軽減し、生産性を向上させます。
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