中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9225912 を販売中
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ニコンNSR 2205 EX12Bは、大容量リソグラフィ用途向けに設計された次世代ウェーハステッパーです。NIKON NSR-2205EX12Bは、シリコン、石英、GaN、ポリマーなど、さまざまな基板をイメージングするための、これまでにない解像度と精度を提供します。12ビームの光学機器と拡張可能なアッパーと低段、± 8nmの高いステップアンドリピート精度を備えたNSR-2205 EX12Bは、業界をリードする機能サイズの70nmのウェーハを製造することができます。NSR 2205EX 12Bの高精度イメージング機能は、12ビームパターンを生成し、シングルパス露光を可能にする独自の独立したエキシマレーザーシステムによって実現されています。また、18mm×18mmの広い露出領域と、1時間あたり最大8,000個のウェーハを収容できる強力なラインスキャン機構を備えています。また、NSR 2205 EX12Bには、新開発のフルフィールドリソグラフィー（FSL）アルゴリズムが搭載されており、業界をリードする生産性とコスト削減のために、1つのマスクでさまざまなレイアウト要素を交渉することができます。NSR-2205 EX 12 Bはまた、並列露光と短波長露光を可能にする革新的な画像デロテーションマシンを提供し、広い分野での低コントラスト画像を可能にします。イノベーションはまた、重要なミスアライメントを修正するのに役立ち、微細な解像度と高精度を提供します。また、NSR 2205 EX 12Bには、光学分野にわたって一定の強度を持つ回折格子やイメージングなどの高度な技術を使用した、新開発の補正フィルタが搭載されています。NIKON NSR-2205 EX12Bは、高度な生産のために、欠陥検出および検査ツールとCCDフリーのアライメント資産を統合しています。統合された検出モデルは、騒々しい画像領域または損傷した画像領域を自動化し、最適な画像品質の露出を調整します。CCD-Freeアライメント装置は、マスクのミスアライメントとウェーハ配置を補正し、高精度な露出フィールドを提供します。NIKON NSR 2205 EX 12Bは、露光時間とマスクの管理と最適化、高度なデータ分析、画像の強化と歪み補正、歩留まり改善、欠陥管理など、強力で高度な機能と機能を利用できる統合運用モニタとサポートシステムを提供しています。全体として、NIKON NSR-2205 EX 12 Bは、12ビーム光学ユニット、シングルパス露光機能、統合欠陥検出および検査機で優れた解像度と精度を提供する次世代ウェハステッパーです。NIKON NSR 2205EX 12Bは、パワフルで洗練されたプラットフォームを提供し、ユーザーはコストを削減しながら効率と生産性を最大化することができます。
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