中古 NIKON NSR 2205 EX12B #9201722 を販売中

ニコンNSR 2205 EX12Bは、研究および産業用途に精密なイメージングが可能な走査型電子顕微鏡（SEM）ステッパーです。このツールは、フォトレジスト、エッチング、スパッタリング、ダイコーティングプロセスなど、さまざまなパターン世代に適しています。このデバイスは、中断することなく、1つのスイープの領域全体に電子ビームを適用します。最大解像度は3。2インチウェーハの0.80µmまたは4-8インチウェーハの1.25µmです。また、バックサイド検査システムや画像投影光学を搭載しており、望ましい角度に調整することができます。ステッパーはステッピングサイズが650mm x 500mm、スキャン面積が610mm x 480mmです。一気に広い面積を検査できる広い視野を備えており、検査工程のスピードアップに役立ちます。ウェーハの露出時間はわずか3。2秒で始まり、連続露出で短くなります。ステッパーには、サンプルの高さに応じて自動的にビームフォーカスを調整するオートフォーカス（AF）装置が装備されています。これにより、サンプルの正確かつ正確なアライメントとイメージングが可能になります。ステッパーには、露出が完了すると電子ビームが自動的に停止する自動ビームストップ（ABS）システムも装備されており、正確な露出時間を確保します。NIKON NSR-2205EX12Bはまた、高速開口変動と高解像度を生成する高効率リフレクトロンユニットを備えており、イメージング性能のさらなる最適化を図っています。また、ウェーハステージと連動した12軸アライメントマイクロステッピングモータにより、精度と再現性に優れています。ステッパーには専用の診断機が付属しており、品質保証測定が可能です。このステッパーはユーザーフレンドリーに設計されており、さまざまなアプリケーションレシピを選択して簡単に変更することができます。また、パターンアライメントとマッチングツールにより、定規を基準にしたサンプルの位置決めを行い、正確な位置決めを行うことができます。また、NSR2205はデータ処理速度が高く、ウェーハ製造時の連続運転が可能です。要するに、NSR-2205 EX12Bは、正確な画像と正確なアラインメントを提供する信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなSEMステッパーです。NIKON NSR 2205EX 12Bは、高解像度で高速なデータ処理機能を備え、さまざまなパターン生成アプリケーションに適しています。