中古 NIKON NSR 2205 EX12 #9238188 を販売中

NIKON NSR 2205 EX12
ID: 9238188
Stepper.
NIKON NSR 2205 EX12は、中規模から大量生産用に設計されたウェーハステッパーです。NIKONの最先端のウェーハステッパー群で、スループット、精度、再現性に優れています。装置の高度なオートメーションにより、プロセスのすべての部分を単一のユーザーフレンドリーなインターフェイスから迅速かつ正確に整列および操作できます。NSR 2205 EX12は、露出精度と再現性を高めることができる二段複光プロジェクションウェーハステッパーです。Low-NAレンズ、High-NAレンズ、オートフォーカスメカニズムを搭載したデュアルオプティカルシステムにより実現しました。このユニットは、最高品質のパターン転送と最小の収差を可能にします。NIKON NSR 2205 EX12は、卓越した柔軟性と使いやすさを提供します。NIKON独自のオフラインビジョン解析機(OVAS)をはじめとする各種機能により、設定の検証や再現性の最適化が可能です。このツールは、便利なプロセス最適化と上層アライメントを可能にし、個別の検査の必要性を排除します。NSR 2205 EX12には、環境制御資産、ほこり除去モデル、露出モニター、偏向コンポーネントモータも含まれており、すべてがプロセス全体の品質と再現性を確保するのに役立ちます。NIKON NSR 2205 EX12は、光学技術以外にも最先端の照明や検出器も搭載しています。高速領域検出器と2チャンネルの1次元検出器とともに、エネルギー効率に優れたLED照明を誇ります。両方の検出器を統合することで、パターニングプロセスの生産性が最大化され、精度と再現性が向上します。NSR 2205 EX12の高精度モータは、正確なウェーハ移動と再現性を保証し、空冷装置はシステム全体を冷却し、高品質の生産を保証します。NIKON NSR 2205 EX12は、品質と精度をさらに確保するための包括的な設計とプロセス監視機能を備えています。このユニットは、露光時間、温度、圧縮、プロービングなどの主要な性能パラメータを記録します。これにより、ユーザーはこれらのパラメータを分析し、プロセス全体のパフォーマンスを評価することができます。全体として、NSR 2205 EX12は非常に信頼性が高く、汎用性の高いウェーハステッパーであり、最高のスループットと精度で正確で高品質な結果を提供します。これは、生産能力を最大化し、プロセスを最適化しようとするユーザーにとって理想的な選択肢です。このウェーハステッパーは、高度でユーザーフレンドリーなパッケージで卓越した品質と再現性を保証する最上級のオプションです。
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