中古 NIKON NSR 204B #9350967 を販売中

ニコンNSR 204Bは、集積回路や関連製品の製造に使用される半導体リソグラフィーツールです。材料のウェーハにパターンを転送するために使用され、集積回路の電子特性の定義を可能にします。NIKON NSR-204Bは、NIKON NSR-S203B STEPとスキャン装置をベースにしています。2次元（2D）アライメントレンズと照明ユニットを採用した先進的なイメージングシステムで、レチクル上のマスクパターンを光学機器を通してイメージします。NIKON S203Bの改良版であり、解像度、アライメント精度、スループットが向上しています。NIKON S203Bと比較してスループットが高く、集積回路を製造する際の処理時間を短縮できます。NSR 204Bツールは、スキャナ、アライメントおよび照明（A&I）ヘッド、レチクルステージ、レチクルステージ、光学部品で構成されています。スキャナは、レチクル、レチクル配置レンズ、レチクル位置モニター、波長世界スキャンCRT、投影レンズで構成される標準的な光学レイアウトを備えています。スキャナは複数のレチクルを扱うことができ、同時に複数の露出を可能にします。アライメントと照明（A&I）ヘッドには、鏡、レンズ、およびレチクルパターンを投影および照明するために使用される多数の光源が含まれています。レンズは、特定のパターンでレチクルに光を集中させるために使用されます。ミラーはパターンの正確さを保障する特定の照明の角度のために傾くことができます。レチクルステージは、投影レンズ上のレチクルの安全な配置と正確なアライメントに使用されます。レチクルの位置は、レーザーアセットを使用して監視および制御されます。NSR-204Bの光学系には、収差補正された投影レンズとフィールド平坦化プリズムが含まれています。プロジェクションレンズは、ウェーハ上のレチクルパターンをイメージするために使用されます。フィールド平坦化プリズムを使用してフィールドを平坦化し、イメージングプロセスからの異常を排除します。ニコンNSR 204Bは、直径6インチから8インチまで、さまざまなウエハサイズに対応できます。また、低温環境を備えており、優れた画像整合性と処理速度を実現します。全体的に、NIKON NSR-204Bは、さまざまなウェーハサイズに対応し、優れた解像度、スループット、アライメント精度を提供する高精度リソグラフィーツールです。集積回路やその他の関連部品の製造に最適です。