中古 NIKON NSR 204B #9137591 を販売中

NIKON NSR 204Bは、半導体製造で使用されるウェーハステッパーです。1回の露出でレチクルからフォトレジストにパターンを転送することができるステップおよび繰り返し機器として動作します。NIKON NSR-204Bは歩留まりと運転効率を向上させるいくつかの設計上の利点を誇り、デバイスプロトタイピングと生産アプリケーションの両方に適しています。CCDラインセンサーを画像検出器として使用し、サブミクロンの配置精度を実現しています。これにより、正確な位置決めが必要な高密度ロジックおよびメモリデバイスのアプリケーションに適しています。このマシンはまた、理想的な画像カバレッジのための焦点の広い深さを備えています。配置エラーを最小限に抑えるための高い光帯域幅とアクティブアライメントユニットを備えており、光路を最適化します。NSR 204には、ニコンアクティブコントロールイマージョン（ACI）マシンが搭載されており、レンズの液浸パラメータを自動的に最適化し、焦点の解像度と深さを向上させます。これにより、整列したウェーハ上で画像を撮影した場合でも、画像がフォーカスされたままになります。NSR 204Bは、APC機構を備えた自動ウェハハンドリングツールを誇り、ウェハのサイズと形状に基づいて自動的にアライメントマークを設定できます。また、手動でのアライメントなしでウェーハ間のパフォーマンスを実現できるように設計されており、大量の半導体製造に適しています。さらに、NSR-204Bには、ウェハサグや振動だけでなく、レジストの厚さや温度の変化を検出することができる統合されたプロセスモニタリングツールが装備されています。これにより、製造前に欠陥のあるウェーハを検出し、高価な再作業や廃棄物を避けることができます。全体として、NIKON NSR 204Bは、さまざまな大量生産アプリケーションに適した、高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。正確に校正された光学系、自動化されたアライメントとハンドリング、および統合されたプロセスモニタリングにより、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。