中古 NIKON NSR 204B #293805264 を販売中

NIKON NSR 204B
製造業者
NIKON
モデル
NSR 204B
ID: 293805264
Stepper.
NIKON NSR 204Bは、ウェーハに光学系を統合するために特別に設計されたマルチフィールド、高精度マイクロリソグラフィーステッパーです。NIKON NSR-204Bは、高度なマルチフィールドアライメントとフォーカス制御、高いスループットと再現性など、幅広い高分解能ステッパー機能を提供し、複雑な半導体デバイスの製造の精度と歩留まりを保証します。NSR 204Bの高度なアライメントシステムは、広い領域に複数のフィールドを配置することにより、正確な動きと追跡精度を向上させます。また、デバイスが正確で反復可能な方法で配置されていることを確認するための迅速な位置検出とアライメント補正を提供します。さらに、NSR-204Bは露出中に自動フォーカスフィードフォワードおよびフォーカスコントロール機能を提供し、ウェーハ露出全体のフォーカスレベルを正確に制御できます。NIKON NSR 204Bは、高度なウェーハ露出のためのハイスループット、再現性の高いプロセスも提供します。高精度の3軸リニアトレーサとOpto-Mechanicalエンコーダは、正確なウエハトラッキングと正確なフィールドアライメントを提供します。さらに、ステッパーは独自のマルチフィールド露出モードを提供し、大きなウェハサイズを並列に露出させるとともに、露出時間を最大30%短縮する高速スキャンメカニズムを提供します。また、NIKON NSR-204Bは、軸外の臨界寸法測定や欠陥検査などの高度な計測機能を提供します。その自動調整ルーチンは、デバイスの形状とサイズの最適化を可能にし、高度な光学システムは正確なパターン配置と高解像度イメージングを保証します。また、露出最適化システムを自動化することで、露出パラメータのリアルタイム監視と制御が可能になり、ウェーハが正確かつ迅速に露出されるようになります。NSR 204Bは全体的に、ウェーハ上の光学系を統合するために特別に設計された高精度マイクロリソグラフィーステッパーです。その高度な機能と機能により、正確で再現性のあるウェーハ露出が保証され、信頼性と費用対効果に優れた微細加工ソリューションを提供します。
まだレビューはありません