中古 NIKON NSR 204B #293628542 を販売中

NIKON NSR 204Bは、半導体産業で使用されるニコン株式会社が製造するウェーハステッパーです。ウェーハサイズが3インチ、4インチ、6インチの4インチウェーハステッパーを備えています。NIKON NSR-204Bは、エッチング、リソグラフィ、検査、スキャンなどの半導体製造プロセス向けに設計されています。NSR 204Bは、ウェーハの表面全体にフォトレジストフィルムを露出させることができる20mm円形スキャンレンズを搭載しています。NSR-204Bは60ナノメートルの動的精度を持ち、露光時間はわずか1秒の高速露光です。それはスキャン振動を減らし、速いスキャンの速度および移動への高い応答を提供する二重渦電流ドライブ装置を特色にします。ニコンNSR 204Bは、2ミクロンの最大ぼかしゾーンで、高い再現性を備えています。6ミクロンのパターン精度を持ち、パターン露出の高精度を確保するために平面を備えています。NIKON NSR-204Bには、反射率を最小限に抑え、干渉による露出損失を最小限に抑える高効率の反射防止コーティングが施されています。NSR 204Bには、モーター式スリットスキャンシステムが搭載されており、スリットスキャン露出に高い精度と安定性を提供します。ブランクウエハとカッティングウエハを重ねて形成されるパターンの種類にかかわらず、切断露出精度は一定に保たれます。スリットスキャン速度は1ミクロン/秒、切断露出速度は5ミクロン/秒です。NSR-204BはNCU 2000 CNCデータインタフェースユニットで制御されており、露出プロセス、ウェーハの動き、速度、および位置を制御することができます。スキャンレンズの位置と速度、露出パラメータの設定、資産パフォーマンスを監視しながら、潜在的な工具の不規則性を識別できるセルフチェック機を備えています。ニコンNSR 204Bはメンテナンスが容易な設計で、すばやく交換できます。すべての部品は容易な点検および維持のために設計されています。NIKON NSR-204Bには、予期せぬ電力切断時のウェーハ露出を防止する安全機能も搭載しています。また、露出精度とウエハの超音波洗浄のための自動キャリブレーション機能を備えています。