中古 NIKON NSR 204B #293591907 を販売中

NIKON NSR 204Bは、直径8インチまでの半導体基板を正確にフォトリソグラフィ処理するために設計された縦軸ウェハステッパーです。この最先端のステッパーには、すべてのフォトリソグラフィープロセスの精度、再現性、信頼性を保証する自動アライメントおよびキャリブレーションシステムが装備されています。また、デュアル露光源を提供し、柔らかい紫外線と硬い紫外線の両方の光源を可能にします。NIKON NSR-204Bは、特別に設計されたコヒーレントNuvo Aligner （CNA）を搭載しています。CNAは、3次元パターン測定技術を使用して、ウェーハを自動的にスキャンし、所望のパターンへのアライメントを確保します。その高度な制御装置は、露出時間や露出レベルを含む露出を正確に制御することができます。これにより、正確で反復可能なプロセスパラメータが保証され、デバイスの歩留まりが向上します。ステッパーには高度なステッピングステージとステージムーブコマンドシステムがあります。ステッパーのステージポジションユニットは、ダイレクトドライブモータと絶対軸リニアエンコーダを使用して、すべてのプロセスで正確な動きと再現性を保証します。ステッパーのステージムーブコマンドマシンは、複数のステージ間の同期動作を可能にし、解像度を損なうことなく、ウェーハ上のパターンや構造の正確なアライメントを可能にします。NSR 204Bは、高出力のKrFエキシマレーザーを使用して、ウェハ全体に均一な露出を提供します。レーザーツールは、敏感な半導体プロセスでアーチファクトを引き起こさない均一でクリーンなフィルムを保証するために使用される技術であるイオン補助蒸着に基づいています。アセットはまた、アライメントソフトウェア内のオブジェクトを正確に識別し、正確な位置決めを可能にするために、Smart Object Recognition Model （SORS）を使用します。NSR-204Bは、すべての業界標準の環境要件を満たし、JEITAの環境ガイドラインを満たしています。これにより、ユーザーはほこりのない環境で最高の信頼性の高い操作を提供します。全体として、NIKON NSR 204Bは、フォトリソグラフィープロセス用の信頼性の高い強力なウェーハステッパーです。高度で自動化されたアライメント、キャリブレーション、露出システムを備えており、精度と再現性を確保し、優れた歩留まりと結果を提供します。効率的で正確なプロセスパラメータにより、NIKON NSR-204Bは効率的で大量かつ高品質な生産に最適です。