中古 NIKON NSR 202A #9210121 を販売中

製造業者
NIKON
モデル
NSR 202A
ID: 9210121
Stepper Specifications: Resolution: ≦ 250 nm NA: 0.60 Exposure light source: KrF excimer laser (248 nm wavelength) Reduction ratio: 1:4 Exposure field: 25 × 33 (mm) Alignment accuracy (EGA, |M| + 3σ): ≦ 45 nm.
NIKON NSR 202Aは、高精度で信頼性の高い半導体ウェーハ加工用に設計された完全自動ウェーハステッパーです。コンパクトでワークフロー効率を最大限に高めるモジュラー設計を採用した次世代ウェーハステッパーです。NSR 202Aには、大型ウェハを効率的かつ正確に処理できるビジョン装置があります。高精度の2K CCDレンズアレイを採用しており、各ウェハの個々のパターンや特徴を検出することができます。ステッパーはまた、ウェーハを露出するための比類のない精度と速度を保証する高度な光学システムを利用しています。ニコンNSR 202Aには革新的なレンズユニットがあり、異なる倍率でウェーハを撮影することができます。このマシンはまた、セットアップとアライメントの最大限の柔軟性を可能にし、異なるウェーハのチップレイアウトのバリエーションに対応することができます。また、オートフォーカス機構を備えており、ウェーハの再現性と精度の向上を実現しています。このツールは、毎回一貫したチップパターニングと露出を保証します。NSR 202Aには露出制御アセットが統合されており、プロセスの露出制御を正確に行うことができます。このモデルは、安定した作業環境を提供し、幅広いアプリケーションのための高度なパターニング技術を可能にします。このマシンは、モジュラー設計と高速プロセッサを使用して、業界をリードするパフォーマンスを実現しています。ユニークなシングルルーム設計により、設備コストを削減し、安全な作業環境を提供します。また、NIKON NSR 202Aは高度なソフトウェアアーキテクチャを採用しており、幅広いアプリケーションを容易にプログラムおよび制御することができます。使いやすいグラフィカルオペレーターインターフェイスにより、効率的で直感的なセットアップと操作が可能です。NSR 202Aは、半導体製造プロセスを最大限に活用するように設計された業界をリードするウェーハステッパーです。その高度な機能と精密光学は、高精度のウェーハを生産する強力で効率的な方法を提供します。NIKON NSR 202Aは、モジュラー設計と露出制御装置を一体化しており、あらゆるウェーハ処理アプリケーションに最適なツールです。
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