中古 NIKON NSR 2005 i8A #9138101 を販売中
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販売された
ID: 9138101
Stepper,
PC model
NEST modify : MSC2
Software
Version : 2.4D
Reticle
(5) Size
Material : Quartz
Thickness : 0.09"
Changer type : Multi
Wafer
(6) Size
Standard : JEIDA
Orientation flat / Notch : OF
Optical system
Magnification : ( 1/5 )×
Field size : (20.0×20.4mm)
NA : ( 0.5 )~( )
Wavelength : i Line
Illumination system
Illuminant : Mercury lamp
Exposure time control : integrating Exposure control
Masking function
Wafer loader
Type : Type Ⅰ
Reticle alignment
Alignment light : Other(HeNe Laser, halogen lamp )
Type : CCD imaging, image treatment
XY stage
Type : Linear Motor Drive､triaxial interferometer
Stroke : X( 200mm )~( )/Y( 200mm )~( )
Wafer leveling
Type : Biaxial linear motor drive
TV pre-alignment
Type : Image treatment
Reticle feeder
(14 ) Sheet reticle storage
Reticle particle inspection
Type : Laser beam
Unit name : PD5(Broken)
Chamber
Cooling type (air cooling) on T/C : S85L
T/C Air cooling type : Cooling unit/inner Heater type
T/C liquid cooling type : Cooling unit/inner Heater type
T/C liquid-temp control unit : Stage
Camera
Type : CCD
FIA
LSA
Inline : Stand alone
1992 vintage.
ニコンNSR 2005 i8Aは、フォトマスクや半導体チップの高解像度生産用に設計された深紫外線リソグラフィ装置です。NIKON NSR 2005I8Aは、大型フラットフィールド、8インチステップリダクション対物レンズを搭載し、100nm以下のパターンの製作をサポートします。最大32ミクロンの調整可能な絞りと、微細なアライメントのためのオートフォーカス・システムにより、NSR-2005I8Aは高精度のリソグラフィー・プロセスの最高級を生産することができます。NIKON NSR-2005 I8Aウェーハステッパーは、最大4メートル/秒の書き込み速度を提供し、大量のリソグラフィープロセスを加速することができます。ステッピングユニットは、最大400nmの薄型レジストコーティングをサポートしているため、サブ100nmプロセスを実現することは困難です。さらに、このマシンは、高価なマスクセットのアライメントの必要性を排除するマルチフィールドおよび多軸アライメントマシンも備えています。ステッピングツールは、ステージの動きを正確に測定できるメカニカルエンコーダを備えた独自の高精度V字型ステージによって補完されます。自動ステージスキャン機能により、各ステッピング操作の前にマシンに保存されたパラメータを使用して複数のフィールドを調整できます。また、光学ヒーターを搭載した高解像度Zポジショナーを搭載し、ウェーハ温度を正確に制御できます。半導体プロセスの厳密な精度要件を満たすために、大面積のレジストに特に適したNSR-2005 I8Aは、大面積のフラットフィールド、油浸対物レンズで構築されています。オイル浸入の設計はまた機械を振動問題に免疫を作り、また多層抵抗のリソグラフィのプロセスで使用することができます。NIKON NSR-2005I8Aウェーハステッパーは、さまざまな革新的な技術も提供しています。反射防止コーティング、高度なレチクル管理機能、完全自動化された操作、効率的な生産のための高度なプロセス統合をサポートします。また、焦点距離の範囲や部分的なコヒーレンスのバリエーションなど、さまざまな特殊な光学オプションに裏打ちされているため、ユーザーは一貫した再現性のある結果を得ることができます。
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