中古 NIKON NSR 2005 i9C #9239576 を販売中

NIKON NSR 2005 i9Cウェーハステッパーは、半導体デバイス開発における精度と生産効率を向上させるために設計された、高度かつ自動化されたウェーハ処理装置です。2つの独立した制御軸で正確なアライメントと回転制御を提供し、ウェーハ表面の複雑なパターンを正確にエッチングできます。さらに、ステッパーにはプログラミングインターフェイスが内蔵されているため、最も複雑なデバイス設計でも簡単にセットアップおよび操作できます。NIKON NSR2005I9Cは、高効率で強力なリソグラフィーシステムを備えています。3つの球面レンズで構成された先進的な光学系は、ファインフォーカス制御と均一な露出カバレッジを提供します。また、各写真パターンの露出を最適化するショット共有アルゴリズムを容易にし、生産歩留まりを向上させます。このステッパーは、0。3nm以下の最大アライメント分解能も提供し、非常に高精度な性能を保証します。特別なシャッターユニットは、ウェーハ全体に均一な露出を可能にし、手動露出補正の複雑さを低減します。NSR-2005I9Cは、再現性のある高精度な処理操作に耐えるために作られた堅牢な設計を備えています。その共振スキャナとコンパクトなベースは、動作中の微小振動を防ぎ、内蔵の熱補償は、発生する可能性のあるサーマルドリフトを補償します。さらに、ステッパーはウェーハ段階からウェーハを安全に積み降ろすための安全なハンドリング機構を提供します。ハイスループットステッパーは、1時間あたり最大30ウェーハの速度を提供し、その全体的な機器効率（OEE）は90％以上です。これは、潜在的な周辺機器との統合のためのファクトリーオートメーションソリューションを備えており、自動メンテナンスを可能にします。内蔵のリソグラフィプロセスモニタは、できるだけ早くプロセスの変化を検出するのに役立ち、そのアルゴリズムベースのライブラリは、効率的なキャリブレーションマシンを提供します。NSR 2005-I9Cは業界をリードするウェーハステッパーで、優れた精度と生産性を提供します。高度なリソグラフィーツールと熱補償は、高品質で複雑なデバイスを作成するための確実なプラットフォームを提供し、半導体デバイス開発に最適です。さらに、USBデータフレームワークと簡単なセットアップインターフェイスにより、迅速かつ簡単な操作が可能であり、OEEは高い歩留まりの結果を保証します。