中古 NIKON NSR 2005 i9C #9195895 を販売中

NIKON NSR 2005 i9Cは、半導体製造および極端な紫外リソグラフィ用途に使用されるウェハステッパーです。それは高いスループット、正確さ、および信頼性を提供する最先端の装置です。ステッパーはステージ、光学ヘッド、統合制御システムで構成されています。ステージは3つのリニアモーション（X、 Y、 Z方向）で構成され、正確かつ正確なモーションコントロールのためのマイクロメーターを内蔵しています。このステージには、ウェーハの位置や負荷/アンロード操作を監視するためのセンサーも多数搭載されています。光学ヘッドは、高解像度のイメージングユニットと高出力の紫外レーザー光源で構成されています。イメージングマシンは、メインレンズ、イメージングレンズ、オートフォーカスツール、ステージターゲティングアセット、ビームアライメントデバイスで構成されています。UVレーザー照明源は、高均一かつ強烈な紫外線ビームを提供し、正確なリソグラフィ画像を保証します。統合制御モデルは、PCベースのコントローラ、PCベースの評価機器、ステッピングコントローラなど、多くの洗練されたデジタルコントローラで構成されています。これらの制御システムは、ステージモーション、露出、開発、エッチング、めっきなど、リソグラフィ工程のさまざまな段階を自動化および制御するために使用されます。最終的に、NIKON NSR2005I9Cは、半導体およびEUVリソグラフィ用途に高いスループット、精度、および長期的な信頼性を提供する高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。