中古 NIKON NSR 2005 i9C #9096014 を販売中

ID: 9096014
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
i-Line stepper, 8" Reticle, 6" 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9Cは、最小限のアライメント時間と強力なフォーカスコントロールシステムを誇る高解像度ステップとリピートウェーハステッパーです。ベーシックからコンプレックスまで、ほぼすべての仕様にデバイスパターンを作成でき、エッジ配置精度に優れています。この先進的なマシンは、完全な視野と高スループットを確保し、大量の生産作業に最適です。NIKON NSR2005I9Cは、1/4ミクロンの最大分解能を備えており、より小型で細かいデバイスの生産に不可欠です。また、アクティブアライメントと高速スキャン技術を使用して、最適なスループットと精度を確保します。さらに、ステッパーは600mm x 600mmの広い作業領域を備えており、より大きなデバイスの製造を可能にします。このユニットには、QuikFocusシステムを含むさまざまな生産性ツールが装備されており、温度、振動、空気圧による焦点の変化を自動的に補償します。これにより、最高レベルの画像忠実度と表面精度が保証されます。さらに、NSR i9CにはStagRiteシステムが装備されており、高速自動位置決めとオートフォーカスのオフセットによるバッチ処理が容易になります。この機能により、アライメント時間を最小限に抑え、ジョブの完了を高速化できます。このマシンはまた、高精度で再現性の高いアライメント結果を提供する統合されたアライメント顕微鏡を持っています。また、印刷前に完成品を閲覧できるため、欠陥による拒絶のリスクが低減されます。全体として、NSR-2005I9Cは優れた精度、スループット、全体的な価値を提供する高性能ウェーハステッパーです。その革新的な機能は、研究または生産アプリケーションに最適です。
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