中古 NIKON NSR 2005 i9C #9096013 を販売中

ニコンNSR 2005 i9Cは、高精度フォトリソグラフィ用途向けに設計されたウェハステッパーです。ウェーハステッパーは、高度な技術を使用して、ウェーハまたは基板上に高解像度の画像を正確に作成します。NIKON NSR2005I9Cは、露出、アライメント、ベイクなど、複数の機能を一発で実行することができます。高速イメージング機能と特許取得済みの「真空」イメージングヘッドにより、i9Cは正確で再現性の高いサブミクロン分解能パターンを正確に生成できます。i9Cは、イメージングヘッド、照明装置、可動ビーム配信機構の3つの主要コンポーネントで構成されています。イメージングヘッドには、広い視野にわたって正確なサブミクロン分解能を提供するために、さまざまな微調整レンズが含まれています。照明システムには、レンズ、ダイクロイックフィルター、およびその他の光学系が含まれており、サンプルに均一で低歪みの照明を提供します。最後に、ビーム供給機構は精密なモーター制御を利用して、イメージングヘッドをウェハのある領域から次の領域に素早く移動させます。単位は500mm×10mmの区域にサブミクロンの決断を提供することができます。ウエハサイズは、イメージングヘッドのサイズによってのみ制限され、さまざまなプロセス要件に対応するために簡単に変更することができます。ステッパーは様々なレジストマスクレベルで動作するように設計されており、幅広い波長（193nm〜248nm）に対応できます。さらに、i9Cは選択的な堆積機構で立体構造をパターン化することができます。NSR-2005I9Cは複雑さを減らし、性能を高める多数の選択および特徴を提供します。このウェーハステッパー特有の内部画像処理機で、セットアップ/調整時間を大幅に短縮します。高度なモーションコントロールツールは、高速画像領域検出器と組み合わせて、正確な登録と再現可能なCD結果を保証します。オプションの真空クランプフィクスチャにより、配置、センタリング、アライメントが自動化され、処理の高速化とスループットの向上を実現します。NSR2005I9Cは信頼性の高い高精度ウェーハステッパーです。高い均一性、再現性、およびスループットを備えたサブミクロン分解能パターンを正確に生成することができるため、ウェーハ生産に最適なソリューションです。直感的なInterfaceと複数の高度な機能により、複雑なリソグラフィ作業をより簡単に、より迅速に、より正確に行うことができます。