中古 NIKON NSR 2005 i9C #9096012 を販売中

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepperは、集積回路や微細な電子部品を作成するために使用される高精度の半導体リソグラフィ装置です。NIKON Semiconductor Solutionsが開発・製造した、高いスループットと極めて低コストのパターンを、比類のないパターンキャプチャ精度と位置精度で提供します。NIKON NSR2005I9Cは非常に高い露光分解能が可能で、1/1000nmの驚くべきダイナミックレンジを提供します。Opto-Mechanicalエイリアス補正プロトコルを提供し、効率的で堅牢なナイキスト・サンプリング時のパターン歪みを低減します。ウェーハステージには、高度なダイナミックラッピングとモノリシックな非停止アライメントシステム、完璧な光学アライメントを保証するための統合リング検索ユニットが装備されています。i9Cはまた、機械が極端な倍率イメージングに使用できるようにするためのユニークな「ナノトラッキング」技術を提供しています。NSR-2005I9Cは2Kおよび4Kレンズアセンブリ4Kおよび6Kより少ないパターンを特色にし、10nmの決断が可能で、392nm ArFの重水素ランプおよびクリプトンのエキシマレーザーが装備されています。この半導体リソグラフィーツールは、位置と焦点の両方に対して0。5nmステージの再現性を備えています。独自の構成により、異なるマスクレベルを実現し、レジスト、リフトオフ、個々のレイヤーレジストなどの包括的な多層プロセスを提供します。この光学系は非軸に対応しており、4レベルのバイナリ光学アセットとダイレクトライトテクノロジーは、さまざまなニーズに対応するさまざまな最適化技術を提供します。NSR 2005I9Cは、一連の自動化されたコンピューター制御オプションも備えているため、サイクルタイムを短縮し、モデルのスループットと精度を最適化することができます。さらに、CCDカメラは機器プロセッサに接続されているため、レチクルやフィールドサイズなどの重要なデータに瞬時にアクセスできます。また、サーマルディフューザーとガスモジュールを備え、汚染を低減します。NSR 2005 I 9 Cウェーハステッパーは、これまでにない解像度、精度、スループットのパターン作成に適した高精度で信頼性の高い半導体リソグラフィーユニットです。高度なダイナミックラッピングとモノリシック、不安定なアライメントマシン、オフアクシス光学、自動化されたコンピューター制御機能など、そのユニークな機能は、業界で最も利用可能なウェーハステッパーの1つです。