中古 NIKON NSR 2005 i9C #9096011 を販売中

ニコンNSR 2005 i9Cは、スピード、精度、精度に優れた先進的なウェーハステッパー装置です。このステッピングシステムは、ユーザーが半導体基板に正確なフォトリソグラフィ画像を作成できるように設計されています。まず、NIKON NSR2005I9Cには、X、 Y、 Z軸に沿った超精密な動きのための5軸モーションコントロールモジュールと、回転と3軸の傾きを備えています。これらの動きは最適な精度を提供し、素早い基板アライメントを可能にします。また、高速CCDイメージセンシングデバイスを搭載し、フルフレームEDWS（エッジ検出およびウェハスキャン）を高解像度で提供します。これにより、精密なエッジ認識とウェーハ解析が可能になり、同時に基板全体をスキャンして高精度を保証します。NSR-2005I9Cは、様々な特殊レンズを使用して、露出フィールドの高精度な位置決めを保証します。また、高解像度モーションコントロールマシンを使用してX、 Y、 Z軸の超精密な動きを実現し、正確な位置制御を可能にします。このステッピングツールには、正確なシャッター制御のためのチャックシャッターメカニズム（CMS）も装備されており、光源からの不正確な距離につながる傾きの変化を排除します。NIKON NSR 2005I9Cは、超精密露光拡大制御のためのActive Layer Stabilization （ALS）や、精密な画層境界位置決めのためのLayer-by-Layer Fixing （LBLF）などの高度な安定化技術も可能です。この資産はまた、AMRC技術を使用して手動アライメントの必要性を取り除き、正確なフォトリソグラフィ画像を作成するプロセスを大幅に簡素化します。NSR 2005 i9Cにはマルチポイントローディングモデルも搭載されており、複数のウェーハを一度にロードしてスループットを向上させ、待ち時間を短縮することができます。さらに、自動ビームシャッター、低圧/低温露出（LLTE）、加熱ステージドア（HSD）などのオプションも提供しており、柔軟性とパフォーマンスが向上します。全体的NSR2005I9C、ウェーハステッパー装置は、非常に正確で正確で高速なフォトリソグラフィ画像を提供することができる印象的なデバイスです。5軸モーションコントロールモジュールと高解像度モーションコントロールシステムにより、超高精度の露出拡大、レイヤー位置決め、シャッター制御が可能です。AMRC技術、マルチポイントローディングユニット、追加オプションにより、さらなる柔軟性とスループットの向上が可能です。