中古 NIKON NSR 2005 i9C #9096010 を販売中

NIKON NSR 2005 i9Cは、幅広い先進的なフォトマスクパターニング用途向けに設計された高速かつ高精度のウェーハステッパーです。これは、優れた汎用性の高いシステム構成を提供する半自動装置です。ウェーハステッパーに働く精密および速度の点で他の装置より複数の利点があります。NIKON NSR2005I9Cの機能セットには、最大22。0インチのサポート能力を持つ光学プリアライメントユニット（OPS）と、高速セトリング時間と最小5ミクロンのインクリメンタルジッタを備えたエアベアリングx/y/thetaステージが含まれています。精密光学とハイテクメカトロニクスの組み合わせにより、この高精度を実現できます。NSR-2005I9Cの全面的な性能は露出の均等性および分野サイズを最大にするように設計されている高度のイメージ投射機械によって高められます。高速かつ高精度な複数露光モードを備え、工具のスループットを大幅に向上させます。さらに、ウェーハステッパーには完全に統合されたソフトウェア資産があり、シーケンシャル、同時及び混合露出およびエッチングを可能にします。このモデルには、環境や機器を損傷や故障から保護するいくつかの安全システムも装備されています。安全システムの配列には、ガス浄化、防塵、エアフィルター、および高圧差動スクラバーが含まれます。NSR 2005I9Cは、優れた真空能力により、超高真空アプリケーションでも使用できます。超高真空方式は、超高真空（UHV）装置と超低アウトガスプロファイルを組み合わせることで、高性能を実現しています。ウェーハステッパーをホストまたはリモートマシンに接続することで、柔軟性と操作性を高めます。統合されたリモートオペレーティングソフトウェアは、ブラウザインターフェイスを介してシステムを完全に制御します。ウェーハステッパーは、waybillsやデータベースなどの他の生産ツールと統合することもできます。結論として、NSR2005I9Cはフォトマスクのパターニングアプリケーションの要求を満たすように設計された高度な多機能ユニットです。高精度の光学・メカトロニクス、先進のイメージングマシン、各種安全システム、超高真空機能を搭載し、優れた工具性能を提供します。さらに、ウェーハステッパーをホストまたはリモートマシンに接続することで、柔軟性と操作性を高めることができます。