中古 NIKON NSR 2005 i9C #9059235 を販売中

NIKON NSR 2005 i9Cは、マイクロエレクトロニクス業界の先進的な半導体デバイス製造に使用される先進的なウェーハステッパーです。このマシンは、標準および高度なイメージングアプリケーションの両方に優れたイメージング性能を提供します。これにより、すべてのイメージングモードで最大解像度の0.40µmが可能になり、クリティカルな回路パターンを0.25µmに印刷できるようになります。これにより、ハイエンド半導体の開発と製造における最先端のノードに最適です。複数の露出機能を備えており、正と負の両方のプロセスで高品質の画像を生成することができます。マシンのターゲット露光範囲は0。6〜5.6µmで、複数の露光パスで最大0。5〜5.5µmの範囲です。さらにALGIS （Auto-Level Gain Image Shifting）システムを搭載しており、露光経路の違いによるデフォーカスやイメージサイズの変化の影響を軽減します。このマシンは、他のウェーハステッパーと比較して、CD（臨界寸法）測定で最大の精度と精度を提供するように設計されています。300mm x 400mmの広いアクティブフィールドにより、大きなパターンを生成することができ、優れたスループットとコスト効率を提供します。そのステップとリピート速度は、1ステップあたり6秒で、1時間あたり合計300枚の画像が表示されます。これにより、大量生産に最適です。そのモジュラー設計は簡単で、速い維持および修理の選択を可能にします。また、新規または既存の顧客システムへの統合も容易になります。NIKON NSR2005I9Cは、ファブ機器とシステムを一体化した高度な自動化技術を搭載し、手動操作を排除しています。また、オートフォーカスとオートアライメント機能を備えており、品質を維持しながら生産時間を短縮します。ノイズリダクション技術は、可動部品による振動を低減するNSR-2005I9Cに使用され、イメージング性能と精度が向上します。また、パルス光源を使用して正確な露光を行うデュアルイルミネーションを搭載しています。NSR2005I9Cは、高度な半導体製造に最適であり、今日の最先端ノードの要求を満たしています。高度なプリアライメントおよび自動キャリブレーション機能により、高いプロセス精度と精度が保証され、設置、セットアップ、メンテナンスも高速化されます。