中古 NIKON NSR 2005 i9C #293601909 を販売中

ID: 293601909
Stepper Resolution: ≤0.5 µm UDOF: ≥0.7 µm CD Uniformity: ≤50 nm Focus calibration repeatablity: 3σ, ≤0.1 µm Lens distortion: Within ±70 nm Maximum area: 20x20 mm Recticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm Exposure power: ≥550 mW/cm² Integrated exposure control: Within ±1% Illumination uniformity: Within 3% Recticle rotation: Within 20 nm Array orthogonality: Within ±0.1 sec Stepping precision: 3σ, ≤70 nm Operation test success rate: 100% Wafer system success rate: 100% Focus stability: ≤0.6 µm Magnification error: Within 15nm Field curvature: ≤0.3 µm Chip levelling accuracy: Within ±1.5 sec.
NIKON NSR 2005 i9Cウェーハステッパーは、集積回路製造から印刷、イメージング、検査まで幅広い用途に使用される高精度デバイスです。9軸の動きを備えたi9Cは、長期的な信頼性の高いパフォーマンスで比類のない柔軟性を提供します。熱歪みを最小限に抑え、振動絶縁機能を内蔵しています。NIKON NSR2005I9Cは、高解像度の0.8NAコンデンサーレンズを備えた印象的な光学機器と、0。8の数値絞りを備えた高性能な目的を提供します。この強力な組み合わせにより、パターニング、オーバーレイ、ウェーハステッパー検査など、幅広いイメージングアプリケーションを可能にします。i9Cは、さまざまな高品質のレチクルをサポートし、微細な偏光、フォーカス、アライメント補正を備えており、究極の精度を保証します。優れた性能と堅牢なデザインにより、NSR-2005I9Cウェーハステッパーが際立っています。高度な4軸システムと4レベルの倍率を備えており、高精度な作業に適しています。このユニットは、高速スキャン速度と最大露光時間1。5秒を提供します。また、自動レチクル交換、デュアルイメージフィールドステッチ、最大5。5マイクロメートルの広いスキャン範囲を提供します。NSR 2005 I 9 Cウェーハステッパーは、生産効率を向上させ、欠陥を低減するように設計されています。直感的なコントローラと高度な監視機能を備えており、高品質の製造結果を保証します。このマシンはさまざまなプロセスガスと互換性があり、Industry 4。0オートメーションをサポートしています。最後に、NSR 2005 i9Cはメンテナンスが容易で、設置面積が小さい。それはさまざまな安全条件に迎合的で、遠隔操作を支えます。これらのすべての機能は、i9Cをハイエンドのリソグラフィ用途に最適なデバイスにします。
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