中古 NIKON NSR 2005 i8A #9351643 を販売中

ニコンNSR 2005 i8Aは、高度なリソグラフィープロセス用に設計された高精度ウェーハステッパーです。この機械は高密度集積回路および他の高度の電子工学の適用の開発を可能にします。ウェーハ検査用の高度な画像測定装置、フォトマスクおよびウェーハステージの正確な配置とアライメント、解像度とコントラストを向上させるビームプロファイルを備えています。光学システムは、高精度で高性能なU字型の異光学光学ユニットで構成されています。このマシンは、広い視野にわたって広い被写界深度と優れた解像度とコントラストを提供します。倍率範囲は5x-90xで、最大開口数（NA）は0。50です。視野は305mmで、ダイピッチは≤ 148 μ m、ダイチルトは≤ 75 μ radです。このマシンのスキャンパフォーマンスは、2軸デジタルサーボ制御ツールでさらに最適化されています。コントローラは、ステッパー操作全体を通してスキャン、ダイ登録、ダイ・アライメントを管理します。アセットは、0。05 μ m/pixelの解像度で要素の配置とスキャンを正確に配置できます。このマシンには、高度なSoft Scanオーバーレイモデルも装備されています。この装置は、複雑なリトエッチングプロセスを実行するときに正確なオーバーレイアライメントを可能にします。このシステムは、完全なオーバーレイ精度を確保するために、基板の1つ以上の層に1つの層マスクを登録することができます。NIKON NSR 2005I8Aは、24時間365日連続で稼働し、可用性を保証するように設計されています。このユニットは、正確な動きと画像安定性を確保するために、超高精度のウェーハステージを備えています。その温度制御機械は、工具全体で一貫した温度を維持し、0。1 μ m以内に再現可能な結果と均一な画質を作り出します。このマシンはまた、ウェーハのバッチのロードとアンロードを容易にする統合されたウェーハトランスポートアセットを備えています。これにより、機械は効率的で自動化されたモデルになり、迅速かつ正確な製造プロセスを可能にします。オペレータは、制御装置の緊密な統合のおかげで、作業に目を留め、必要に応じて修正を行うことができます。要するに、NSR-2005I8Aは、一貫したリソグラフィ性能を維持しながら、精度と精度を提供する高度なウェーハステッパーです。複雑な製造プロセスに対応しながら、正確で再現性のある結果を提供するように設計されています。