中古 NIKON NSR 2005 i8A #9275351 を販売中

ニコンNSR 2005 i8Aウェーハステッパーは、優れた能力と信頼性を備えた統合リソグラフィ装置です。直径8インチまでのウェーハ加工用のステップアンドスキャンリソグラフィを可能にする、高精度で大規模なシステムです。高品質なイメージングを実現し、低電圧およびナノスケールのデバイスの高度なパターニングに最適です。ニコンNSR 2005I8Aは、リソグラフィ用に2つのレンズユニットを採用しています。大口径のウエハーのイメージングにはデュアルステージ縮小対物レンズを、小口径のウエハーには高精細ズームレンズを使用します。対物レンズは、0。9の高い数値絞りと広い視野を提供します。ズームレンズは、広いフィールド上の信頼性の高いアライメントのための信じられないほど広い視野範囲を提供します。ズームレンズには、高解像度デジタルカメラとオートフォーカス機能を搭載し、さまざまな波長で優れたイメージングを実現しています。NSR-2005I8Aはクラス最高の速度と精度を提供します。0。5 umの微細な機械分解能を実現し、高度な軸デジタル化機能により、大規模なオーバーレイや登録作業を容易に処理できます。NSR 2005 I 8 Aは、動作中の粒子の動きを最小限に抑えるために、高速で低遅延のスキャン制御マシンを備えています。高精度な再現性と低振動を実現し、測定精度の向上と優れたオーバーレイを実現します。NSR 2005I8A Wafer Stepperでは、さまざまな高度なイメージング技術を利用できます。高解像度顕微鏡イメージング、低電圧フォトマスク検査、ナノスケールのリソグラフィ、フォトリソグラフィなど、さまざまな用途に使用できます。高度な最適化ルーチンや汎用性の高いマスクデータ管理ツールなど、プロセス機能をさらに強化するためのソフトウェア機能もいくつかあります。NIKON NSR 2005 I 8 Aは、イメージング機能に加えて、さまざまな安全性と保護機能を備えています。視野全体に広がる反射防止アセット、外部真空接続ポート、緊急停止スイッチ、クローズドループ温度制御、内蔵冷却ファンを備えています。これらの機能により、ニコンNSR-2005 I8A市場で最も信頼性の高いウェーハステッパーの1つです。