中古 NIKON NSR 2005 i8A #9250072 を販売中

NIKON NSR 2005 i8Aウェーハステッパーは、半導体製造における高度なリソグラフィープロセスに必要な重要な機器です。薄い基板上で極めて小さな特徴を生み出すことができる高精度な機械です。NIKON NSR 2005I8Aは、メインフレーム、アライナーステージ、投影光学機器、露光源で構成されています。メインフレームは、真空タイトチャンバー、フィードおよびステージングアーム、および電動ポジショニングステージで構成されています。真空タイトチャンバーは、露出プロセスの精度とデバイスの歩留まりに影響を与える可能性がある空気中の汚染への暴露からステージを保護します。チャンバー内には露光源があり、オゾンまたは深紫外線の2つの照明源の1つで構成されています。露出源の選択は、使用される露出マスクの種類によって異なります。例えば、水晶で作られた露出マスクを使用する場合、深紫外線を使用します。NSR-2005I8Aの投影光学システムは、望ましい装置層に必要な倍率とフォーカシングパラメータを提供する一連のレンズとミラーで構成されています。光学は達成可能な最高の決断レベルおよび特徴のサイズを提供するために最大限に活用されます。NSR-2005のAligner Stages I8Aは、精密エンコーダとサーボモータを使用してX、 Y、 θ平面のステージを指示します。これらのステージ補正は、ダイ・ツー・ダイの配置精度と重要な機能を整列させるために不可欠です。NSR 2005I8Aは、最高レベルの再現性と精度を提供することにより、デバイスの歩留まりとデバイス公差を改善するように設計されています。高解像度イメージング、効率的なスループット、高感度露光プロセスの安定した環境を維持するための高度なプロセス制御ユニットなどがあります。自動化されたビジョンアライメントマシンにより、ステッパーは不整合を検出して修正するだけでなく、基板の均一性を監視して、毎回最高品質の部品を製造することができます。全体として、NSR 2005 I 8 Aウェハステッパーは、半導体産業に高速、精度、再現性を提供する非常に貴重な高度なリソグラフィ装置です。この高度なツールは、伝統的な方法では生産することは不可能であろう非常に薄く、繊細な基板上の最も洗練されたパターンを作成することができます。