中古 NIKON NSR 2005 i8A #9226275 を販売中

ニコンNSR 2005 i8Aウェーハステッパーは、ステップアライメント装置を組み込んだ先進的なリソグラフィ装置です。このシステムは、イメージングおよび/または処理のための標本の正確な位置決めを可能にします。このマシンの機能により、フォトマスクやレチクルイメージング、シングルマスクオーバーレイ用のマスクアライナー、MEMSおよびMOEMS処理用のアライメントなど、さまざまなアプリケーションに最適です。NIKON NSR 2005I8Aは、精密なサンプルポジショニングとフォトマスクイメージングを可能にし、最も精密な難易度の高いアプリケーションでも使用できます。NSR-2005I8Aは、ユーザーフレンドリーなコンソールを備えた完全に自動化されたステッピングスキャナで、ユーザーはユニットを簡単にセットアップおよび管理できます。このマシンには、2つの自動可動ステージ方向、分散リソグラフィーモジュール、および正確な測定装置が付属しています。そのハイエンド光学ツールは、7nm〜5mmの作動距離を持つ300mmまでの画像フィールドで、優れた解像度を提供します。アセットは、短時間および長時間の露出だけでなく、パルスと連続露光にも対応できます。NSR 2005 i8Aは、8インチの視覚制御スキャンプラットフォームを使用して、フォトマスクとレチクルの簡単なアライメントと向き、ならびにすべての標本タイプとウェーハの位置決めとアライメントを可能にし、高精度の画像取得を可能にします。このプラットフォームには、光学干渉計、長焦点深度、およびサブミクロンレベル変換への校正精度も含まれています。これは、モデルの自動オーバーレイアライメント機能と組み合わせることで、MEMSおよびMOEMS処理に最適です。NIKON NSR 2005 I 8 Aは、製造プロセスを中断することなく、ユーザーがパラメータを変更することができ、製造互換性のある制御が装備されています。この機能は、プロセスの迅速な最適化、時間とコストの節約に特に役立ちます。また、多重露光機能と自動レンズチェンジャーを備えているため、均一な露出を確保しながら、光学系を素早く簡単に切り替えることができます。結論として、NIKON NSR-2005 I8Aウェーハステッパーは、ステップアライメント装置を組み込んだ先進的なリソグラフィ装置です。優れた解像度、光干渉および校正精度をサブミクロンレベルに提供し、ユーザーフレンドリーな設計と製造互換性のある制御と組み合わせることで、フォトマスクとレチクルイメージング、シングルマスクオーバーレイ用のマスクアライナー、およびMEMS/MOEMS処理に最適です。