中古 NIKON NSR 2005 i8A #9202299 を販売中

NIKON NSR 2005 i8Aは、半導体およびナノ加工に使用される高度で高精度なステッパーです。最新のNIKON Motion Control Platform （MCP）を基盤としており、優れた性能、速度、精度を提供します。完全自動化されたシステムは、スループットと解像度を向上させた光学およびフォトリソグラフィープロセスが可能です。このウェーハステッパーには、保護石英真空チャンバーと高速画像フィールドスキャンを制御する高度なソフトウェアが装備されています。8インチのウェーハと3。5インチのレチクルを扱うことができます。光を照射してパターンをウェハに正確かつ迅速に転送する効率的なツールです。無限補正光学系とウェハコーティング光学系の2種類のレンズシステムを採用しています。2つ目のレンズは、パターニングプロセスでシステムをより効率的にし、より高い効率でレイヤー間でパターンを作成することができます。画像歪みを低減したサブミクロン機能のバリエーションフリーパターニングを正確に実現し、最小露光量は+/-0。5％です。このi8Aは、ナノメートルレベルまでの高い精度を達成することができます。反復精度は± 0。001mm、露出精度は± 0。02mmです。このステッパーはまた、16の露出ステップで素早い露出機能を搭載し、露出時間を短縮し、露出精度を向上させます。高度な自動化により、高速なウェーハ転送速度を実現し、1時間あたり8ウェーハのスループットを実現し、最大の歩留まりとスループットを実現します。高度なソフトウェアはまた、オペレータの負荷を軽減し、製品品質を向上させ、コストを削減します。NIKON NSR 2005I8Aの洗練されたデザインと特性は、最高品質の製品を生産するための正確なステッパー技術を求めるユーザーにとって理想的な選択肢です。優れた精度、スピード、生産性を1つの費用対効果の高いソリューションに組み合わせることで、チップ生産に最適です。