中古 NIKON NSR 2005 i8A #9159993 を販売中

NIKON NSR 2005 i8Aは、2005年に株式会社ニコンプレシジョンが開発したサブミクロン、スリット型ウェーハステッパーです。ステッパーは、半導体の小型化やナノ加工など幅広い用途に対応するために最適化された独自のフィールドレンズ没入型技術をベースとしています。NIKON NSR 2005I8Aは、画像やパターンを拡大し、収差を低減するために協力する2組のレンズを装備しています。最初のセットは、非ビーム分割であり、イメージングのための平らな波面を提供するように設計されたフィールドレンズで構成されています。これらのレンズは内野の曲率を最小限に抑え、均一で高解像度のイメージングを可能にします。2番目のセットは、露出段階でフィールドレンズからの光を正しくフォーカスするために反射鏡を使用して二次レンズで構成されています。ステッパーにはVCM （Variable Center of Mass）システムも装備されており、露出エネルギーと焦点位置の高速かつ高精度な調整を可能にし、サブミクロンの特徴を正確に露出させることができます。さらに、光パターンNSR-2005I8A正確に調整する露光制御システムを内蔵し、高い均一性と露光エネルギーの再現性を確保しています。NSR 2005I8Aにはユニークなステージデザインもあります。ステッパーはデュアルステージ構成を採用しており、ウェーハプレーン内での高速かつ正確な位置決めが可能です。これにより、露光サイクル内で高速なスループットと高精度を実現します。さらに、信頼性の高いウェーハクランプ用の真空チャックと、均一なウェーハ温度の温度コントローラを備えています。NSR 2005 i8Aは全体的に信頼性が高く高性能なウェーハステッパーであり、半導体およびナノ加工プロセスの幅広い用途に適しています。ステッパーのデュアルステージデザイン、フィールドレンズ没入型技術、露出制御システムにより、サブミクロン機能の正確で均一な露出が可能です。