中古 NIKON NSR 2005 i8A #293689926 を販売中
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ID: 293689926
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1991
Stepper, 6"
Wafer stage: Ball screw style
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: KEYENCE and OMRON sensors for clear wafers
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer type: Flat
Illuminator type: 1500 W
Reticle libraries
Reticle load / Unload arms: Open / Close (20 mm)
Ceramic ring chuck with pre-alignment
Focus calibrate
TTL Reticle alignment
Resolution: 0.5 micron
Computer type: PDP11
Reticle size: 5"
Barcode reader
Autofocus: Single point
Movable microscopes: 15/17.5/20 mm
LLTC: Standard air
LIA
FIA
LSA
Chip levelling
ISS
SEC2
No PPD
1991 vintage.
ニコンNSR 2005 i8Aは、高精度で信頼性の高いフルフィールドウェーハステッパーです。この装置は、高精度な基板の高いスループット生産を実現する高度なプラットフォームを提供し、優れたパターン認識結果と低い全体的なスループット時間を提供します。NIKON NSR 2005I8Aの解像度は、高度な0。4 μ m解像度、スキャンベースの照明システムを中心に、32段階の垂直視野を利用しています。ステッパーはまた多方向パターン認識ユニットを備えており、あらゆる形状の基板を迅速に検出して配置することができます。NSR-2005I8Aは、3つの回転軸、2つのXY変換軸、およびZ軸を含む完全な5軸の機能を備えています。このセットアップにより、ステッピングコンポーネントと基板の最も正確な位置決めとアライメントが可能になります。また、NIKON NSR-2005I8Aは、高精度の光学プラットフォーム、ダイレクトドライブモータ、ハイスループットFEMベースのアライメントアルゴリズムを採用しています。この高度なツールは、優れたパターン認識結果と高速スループット時間を可能にし、複雑な基板を効率的に処理することができます。また、NIKON NSR-2005 I8Aには、ユーザーコントロールを向上させるさまざまな機能が搭載されています。これらの機能にはマルチツール機能が含まれており、オペレータはその場でさまざまな光学系を素早く切り替えることができます。さらに、NIKON NSR 2005 I 8 Aには、Defocus Offset Assetと呼ばれる独自の幾何学的機能が含まれており、Defocusエラーによる光学イメージングの問題を軽減するように設計されています。最後に、NSR 2005I8Aには統合ツールの包括的なモデルもあります。この機器は、ステッパーを他のさまざまなコンポーネントやプログラムに簡単に接続することができます。これらの統合ツールはステッパーに単一のウィンドウを提供し、オペレータは幅広いソフトウェアおよびハードウェアエンジニアリングアプリケーションを利用することができます。結論として、NSR-2005 I8Aは非常に高度で機能満載のウェーハステッパーです。このシステムには、0。4 μ mの解像度のスキャンベースの照明ユニット、回転式5軸設計、洗練された光学系とモーターシステム、および堅牢な統合ツールが装備されています。これらの機能を組み合わせることで、高速なスループットタイムを実現し、あらゆる形状基板を最高の精度と精度で正確に配置できます。
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