中古 NIKON NSR 2005 i8 #9016036 を販売中

NIKON NSR 2005 i8は、少量のパイロット生産とウェーハバンピングアプリケーション用に設計された高性能ウェーハステッパーです。高解像度の12インチウェーハステージと、正確かつ再現性のあるウェーハアライメントとバンプ配置のための剛性フレームを備えています。8インチのステッピングカラムと2段階の回転機能を備えており、広範囲のアライメントと最大750xの投影倍率を実現します。ステッパーには高度な照明システムが装備されており、ウェーハの観察と照明を正確に制御し、最適なパターン安定性を実現しています。0。75ミクロンの高度な分解能は、0。3ミクロンの周波数まで、最小線の幅で均一でシャープで明確なパターンに優れたコントラストと定義を提供します。また、測定および検査アプリケーションで使用する低コントラスト位相シフターを検出することもできます。i8はさらに、処理時間を最小限に抑え、リソグラフィ作業の汎用性を向上させるために、複数の露光モードを装備しています。そのプロフラックス技術は、パターンサイズ、露出条件、ウェハローディング状況、および追加の表記に基づいて、ステッピングパラメータを動的に調整します。これにより、オペレータは、大きなフィーチャーサイズから小さなフィーチャーサイズに遷移する際に、パラメーターをすばやく調整できます。高度なウエハローディングシステムにより、ウエハハンドリングが強化されます。このシステムは、オペレータがプロセスをスピードアップするために上段から下段にウェーハを素早く移動させることを可能にするユニークなローダーインターフェイス設計を利用しています。また、ウエハフレックスフィルムハンドリング機能も内蔵しています。NSR 2005 i8は、少量生産およびウェーハバンピングプロセスの要件を満たすように設計された、費用対効果の高い高性能ウェーハステッパーです。ウェハステッパーアプリケーションの範囲に最高の解像度と精度を提供するように設計されており、住宅用半導体製造プロセスに最適です。