中古 NIKON NSR 2005 i7 #9269107 を販売中

ニコンNSR 2005 i7は、フォトマスク製造に使用される高度なリソグラフィーツールであるウェハステッパーです。半導体、フラットパネルディスプレイ、その他のマイクロエレクトロメカニカルデバイスの製造に使用されています。NSR 2005 i7は、一般的なNSR-2004の大幅にアップグレードされたバージョンであり、より大きなステッピングフットプリント、より高速なアクション、および改善された画質を提供します。NIKON NSR 2005 i7は光学系を進化させ、フィールド曲率補償を向上させました。これにより、画像がフォーカスされ、露出精度がウェーハ全体のすべての領域で一貫していることが保証されます。光学はすべて囲まれ、生産エラーの可能性を減らすために装置の安定性を高めます。NSR 2005 i7には2つの露出レベル（高低）があります。これにより、より高い精度と柔軟性を実現します。高機器の設定は、より高い解像度とより低い誤差のマージンを提供し、低強度の設定は、より迅速な露光時間を可能にします。ニコンNSR 2005 i7は、容量を増やし、動作精度を向上させました。ウェーハステッパーの面積が増加すると、生産量が増加し、生産のダウンタイムが短縮されます。ステッピングモータの高速化により露光時間が短縮され、リソグラフィ機の生産速度がさらに向上します。フォトマスクリソグラフィ用に設計されていますが、NSR 2005 i7は、ライングリッドフォトマスクと結晶成長プレートにも使用できます。また、NIKON NSR 2005 i7では、バイナリ、セミグレー、Z字形など、さまざまな画像フォーマットに対応しています。ステッパーは磁気中心機能を備えており、ウェハが完全に中央に配置されていることを保証します。さらに、組み込みのインライン検査システムは、不適切な配置など、生産中の不幸なエラーを検出します。NSR 2005 i7には、あらゆる変位を測定、評価、補償する運動干渉計もあります。NIKON NSR 2005 i7は汎用性の高いアーキテクチャを採用しており、お客様のニーズに合わせてユニットを構成することができます。NSR 2005 i7には、PCベースのオペレーティングマシンが搭載されており、ツールコントローラ、パラメータセッタ、アライナー、本番モニタなどのフルセットのソフトウェアが付属しています。これらにより、リソグラフィープロセス全体を完全に制御できます。全体として、NIKON NSR 2005 i7ウェハステッパーは、高度で汎用性の高い強力なフォトマスクのリソグラフィ資産です。その改良された光学系と高精度は、高いスループットとすべての密閉構造を兼ね備えており、信頼性の高いフォトマスク生産を必要とする幅広い業界にとって理想的な選択肢となります。