中古 NIKON NSR 2005 i6 #9269102 を販売中

NIKON NSR 2005 i6は、さまざまな用途に対応した高解像度イメージングを提供するウェーハステッパーです。フレキシブルな加工に幅広い露出パラメータを提供し、マスクや回路パターンの配列に対して信頼性の高い動作と高い歩留まりを提供するように設計されています。マシンは、チャンバーの正面、側面、上部からの視認性を可能にするユニークなデザインの5軸装置です。露出時のレチクルとウェーハの正確なアライメントを確保するために、自動化されたアライメントシステムを備えています。NSR 2005 i6はPerfect Step Stepping Methodを使用しており、最も複雑な機能でも非常に正確な画像配置が可能です。この技術により、登録誤差を最小限に抑えて0。5 nm分解能を~することができ、露出パラメータをさらに最適化してより高い精度を得ることができます。赤外線アライメントユニットは、さまざまな回路パターンの正確なオーバーレイアライメントを提供することも可能であり、機械の3Dアライメントはウェーハとレチクルの間の任意の傾き誤差を補償します。NIKON NSR 2005 i6には、最も困難なフォトマスクの解像度を確保するための自己調整型フルクローズドループスキャンツールがあります。このアセットは、効率的な登録精度を可能にし、生産中の欠陥の影響を最小限に抑えます。このツールには、各露光中に高品質の画像が生成されるようにするために、画像評価モデルが内蔵されています。NSR 2005 i6は、スループットと効率を向上させるために、統合キャリアハンドラとウェーハハンドラを使用しています。統合されたエアベアリングタイプハンドラは、正確な処理と最適な表面保護を提供します。この装置には、粒子の付着を低減し、パターンエッジの印刷を最適化するためのローバンプ抵抗ユニットも装備されています。この技術は、金型内の変動を制御するのに役立ち、包括的な画像評価と組み合わせることで、一貫して高い歩留まりを生み出します。NIKON NSR 2005 i6には、信頼性モニタリングやリフローオーブンやパーティクルモニタリングシステムなど、さまざまな機能が搭載されており、継続的なメンテナンスに役立ちます。このツールには、ネットワーク内の他のノードとの簡単なアクセスと通信を提供するイーサネット接続も装備されています。これにより、工具の状態を簡単に追跡でき、工程最適化の際にさらにサポートされます。