中古 NIKON NSR 2005 i6 #293652747 を販売中

NIKON NSR 2005 i6は、大量・多品種生産に対応するウェーハステッパーです。優れたスループット性能を発揮し、同じNIKONシステムよりも最大2。5倍のスピードで4〜6インチの基板サイズを提供します。照明と露出時間を自動的に調整し、あらゆるタイプのレジストで最適な結果を得る「インテリジェント露出」コンピュータコントロールシステムを備えています。NSR 2005 i6は、複雑なウェーハパターンを迅速に処理できる高性能デュアル露出ヘッドを備えています。露出ヘッドは、ハロゲンと水銀ランプの組み合わせを採用し、紫外線露出を最小限に抑え、露出時間と強度によるレジストパターンの変化を最小限に抑えます。露出ヘッドは、高解像度の四分の一ミクロンのレチクルと高精度高倍率投影光学を使用して、高解像度の画像と均一性を確保します。露出ヘッドは調整可能な光強度を持ち、異なるサイズとタイプのフォトレジストにすばやく適応できます。光学は非常に低いゆがみレベルのために造られ、イメージのゆがみを除去し、単位を高度のリソグラフィの適用のために非常に正確にさせます。NIKON NSR 2005 i6は、最先端の光学システムを備えた、再現性のある、卓越した精密ステッパーです。機械は非常に低い位置合わせの誤差レベルを提供し、異なったサイズの基質をすぐに収容し、抵抗できます。このツールは、高いスループットと優れた均一性を提供するように設計されています。最後に、NSR 2005 i6には、あらゆる種類のアルゴリズムを処理できる高性能コントローラが装備されています。座標と露出時間を簡単にプログラムでき、オートフォーカス、エッジとセンターの決定、一般的なプログラマブルロジックなどの機能が含まれています。これにより、オペレータは高いスループットと均一性を提供しながら、より複雑なタスクに集中できるようになります。