中古 NIKON NSR 2005 i12D #293817940 を販売中

NIKON NSR 2005 i12D （Metrology Stepper）は、高精度の計測とウェーハ加工用に設計された先進的なウェーハステッパーです。ステッパーには幅広い機能と機能があり、研究および生産アプリケーションの両方に最適です。NSR 2005 i12Dには12インチのスキャンフィールドがあり、他のほとんどのステッパーよりも大きな露出領域を提供します。このステッパーは、最大0。65ミクロンの高解像度を持ち、連続して12種類の画像パターンを処理することができます。それは露出の間に相対的な正確さを保障する低振動、高ダイナミックアライメントシステムを含んでいます。NIKON NSR 2005 i12Dは、高精度なアライメントと微細な動き制御を可能にする高速ステージ設計を採用しています。また、高度なウエハアナログイメージングシステムを備えており、高精度な制御と露出を可能にします。NSR 2005 i12Dはまた、生産アプリケーションにとって重要な信頼性の高い効率的な露光プロセスを提供します。NIKON NSR 2005の高速i12Dと低ノイズレベルの組み合わせにより、迅速かつ安定した補正応答が保証されるため、露光時間を最適化して制御することができます。測定用途では、NSR 2005 i12Dは、製造プロセスの成功に不可欠なプロセスパラメータを測定および監視するために必要な絶対的な精度を提供することができます。ステッパーには、高精度のステッピングモーターとレーザー干渉計が内蔵されており、あらゆる露出に対応した測定と再現性の高いパラメータを提供します。また、NIKON NSR 2005 i12Dは、超長露光範囲、高レベル粒子検出、最適化された基板検出、検査と測定のための高度なカメラインターフェースなどの高度な機能を備えています。基板の表面を継続的に監視し、最高の精度と再現性を得ることができます。NSR 2005 i12Dには、ユーザーがリアルタイムフィードバックで露光プロセスを監視できる統合画像処理システムが含まれています。全体として、NIKON NSR 2005 i12Dは、高精度の計測およびウェーハ加工用に設計された強力で信頼性の高いウェーハステッパーです。高速、低騒音、高精度を兼ね備えた幅広い機能と機能により、研究および生産アプリケーションに最適です。