中古 NIKON NSR 2005 i12D #293813222 を販売中
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NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepperは、半導体ウェーハや精密部品に複雑なパターンを作成するために設計された最先端の高精度ウェーハステッパーです。このマシンは0。1ナノメートルの解像度を提供し、優れたパターン精度と再現性を提供し、4"、5"、6"、8"、および12"のすべてのウエハに最適な高スループットを保証します。NSR 2005 i12D Wafer Stepperは、強力なウエハースキャンモータによるサーマルドリフトを排除することで、安定した正確なパターニングを可能にする信頼性の高い「コールドスキャン」技術で設計されています。これにより、10ナノメートル以下の超微細なステージ移動が可能になり、特許取得済みの「サブナノメーター」レベルの精密登録システムにより、高精度で均一なパターニングが可能になります。さらに、パターニングとアクティベーション時間を短縮するクイックスタートモードと、ウェーハや光学系のダスト粒子の蓄積を防ぐクリーニングモードが内蔵されているため、信頼性が高く一貫したウェーハパターンが得られます。NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepperは、高度な高速Galvoスキャンオプティクスを使用して、最大解像度と安定した反復可能な画像精度を提供します。特殊光学系は、1。0 μ m/stepから0。1 μ m/stepまでの倍率範囲と、可変パターンマスクサイズの広い倍率範囲を可能にします。さらに、ステッパーの軽量でコンパクトなフレームは、オペレータの快適性と全体的な使いやすさを高めるように設計されています。NSR 2005 i12D Wafer Stepperは、最高レベルの品質と精度を提供するように設計された非常に正確で効率的なウェーハパターニングシステムです。NIKON NSR 2005 Wafer Stepperは、最大12インチのサイズのウェーハをパターン化することができるためi12D高度な半導体加工におけるウェーハパターニングに最適で、最高レベルの精度とスループットを必要とするアプリケーションを対象としています。
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