中古 NIKON NSR 2005 i11D #293831215 を販売中
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ID: 293831215
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
i-Line steppers, 6"
Type: Step and repeat exposure system
Control system: VAX Station
Operational panel
Recital loader
Wafer loader
Environmental chamber
Lens controller
Electricity box
Polaris: Link from left side
1996 vintage.
ニコンNSR 2005 i11Dは、最先端のリソグラフィ用途のニーズに対応するために設計された先進的なステッパー/スキャナ装置です。このシステムには、11インチのフルフィールドイメージング機能と高スループットが搭載されています。先進的な設計と先進技術により、ドライフィルム、高屈折率フィルム、スピンコーティングレジストなど、さまざまな材料に高解像度、高コントラスト、高スループットの結果を提供します。NIKON NSR-2005I11Dは、高度なレンズ技術を備えたLDアクチニックイルミネーションユニットを採用しており、高い均一性と安全性と信頼性の高い照明源を提供します。このマシンはまた、革新的な光学ツール、オートフォーカス、ダイレクトドライブスキャナ、自動操作、および電力制御を備えており、ユーザーに最適なパフォーマンスを提供します。NSR 2005 I 11 Dのオートフォーカス資産は、外部入力なしで迅速かつ信頼性の高いフォーカス調整を実行するように設計されています。モデルは自動的にパターンの高さとエッジの品質を評価し、フォーカスを継続的に調整します。自動操作機能により、ユーザーはレイヤーを簡単かつ迅速に操作して特定のレイヤーを露出させたり、パターンを整列させたりすることができます。また、ユーザーフレンドリーなタッチパネルディスプレイとグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えた人間工学に基づいたユーザーインターフェイスも備えています。これにより、ユーザーはシステムの操作とステータス情報に迅速かつ効果的にアクセスできます。さらに、このユニットは幅広いプロセスパラメータをサポートしており、将来のレビューのためにそれらをログに記録することができます。これにより、リソグラフィの再現性と信頼性の高い製造のための手順が確実に実行されます。NSR-2005I11Dは、最低限のメンテナンス要件のために設計されているため、信頼性が高いです。また、ホットスワップ可能なプロセッサ、メモリ、およびマシンレベルの機能を備えており、機能とパフォーマンスを強化しています。このツールは、生産環境向けに特別に設計されており、最も要求の厳しいリソグラフィーアプリケーションのニーズを満たすために簡単に拡張できます。NSR 2005 i11Dは、全体的に高度で信頼性の高いステッパー/スキャナ資産であり、メンテナンス要件を最小限に抑えながら優れたパフォーマンスを提供します。高度な技術とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、本番環境に最適です。
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