中古 NIKON NSR 2005 i11D #293813221 を販売中

NIKON NSR 2005 i11Dは、半導体生産のためのフォトマスクを迅速かつ正確に製造するために設計された最先端のウェハステッパーです。高度なウェーハステッパーは、移動距離800 x 900 mmの非常に大きなステージを備えています。これは、両面アライメントと改善された精度のための2つの独立した制御ステージが装備されています。NIKON NSR-2005I11Dは、複数の計測とアライメントのオプションを使用して、最も複雑なマスクのデザインからパターンを正確かつ正確に再現できます。NSR 2005 I 11 Dの高度なレーザーおよび光学システムは、高精度のアプリケーションに最適です。ステップおよびリピートリソグラフィ装置は、最先端の超安定光学プラットフォームを使用していますが、さまざまな照明モードのオプションにより、さまざまなウエハサイズに非常に適応できます。レーザーベースのメカニズムは、最高性能のために設計および最適化されており、高精度の配置精度で最大0。3ミクロンの分解能を提供します。さらに、NIKON NSR 2005 I 11 Dには革新的なAutoAlignerが搭載されており、複数層の製造時に最高の精度とアライメントを維持するのに最適です。また、最大28mm x 28mm、最小3mm x 3mmの広い視野にも対応しています。イメージセンサは高感度であり、低k1用途に最適です。NSR-2005I11Dの高度な制御ユニットは、さらにリソグラフィ性能を最適化します。それはそれぞれのパターンに露出線量を個々に調節するのに使用することができる4つの個々の線量のコントローラーの合計と来ます。さらに、露光フィルターの幅広い選択と用量ツールの自動調整をサポートし、リソグラフィのニーズを容易に最適化します。その先進的なデザインは、高効率フォトリソグラフィに最適な資産です。NSR 2005 i11Dは、高精度で高収量のフォトマスキングソリューションを必要とするさまざまな業界に理想的なソリューションです。高度な設計、信頼性の高い操作、簡単に調整可能な露出設定により、複雑で低k1のフォトマスク用途に最適です。