中古 NIKON NSR 2005 i11C #9213592 を販売中

NIKON NSR 2005 i11Cは、NIKONが製造する高精度ウェーハステッパーです。シリコンウェーハの正確な製造が不可欠な半導体業界において幅広い用途に使用できるように設計されています。i11Cは、極めて高精度なウェーハ加工を可能にする幅広い機能を備えています。NIKON NSR 2005 I 11 Cは、歪み補正機能を備えたインライン2段F2レンズと、画像高さ監視機能を搭載しています。これにより、ステージの動きを正確に制御し、フォーカス時の収差を抑制して最大の精度を得ることができます。さらに、ウェーハステッパーは部分的なコヒーレンス干渉計のイメージングシステムを搭載しており、自由形状の大きな表面上で最高レベルの精度を実現しています。ウエハサイズや厚みの広い範囲に対応しています。NSR 2005 i11Cには、新しいレジスト露光機も内蔵されています。光源を内蔵し、やさしく傾斜した光学系を採用したこのツールは、光損失を低減し、狭いスペースでも露出を可能にします。さらに、ステッパーは、汚染物質から光学系を保護し、安定した光学性能のために安定した温度を維持する革新的な保護エンクロージャを備えています。NSR 2005 I 11 Cには、高速で高精度なレイテンシーモータが追加されています。これにより、ウェハスキャン中の振動を最小限に抑えることができます。さらに、ステッパーには精密なステージコントロールが含まれており、大きなウェハ上に小さなチップを配置することもできます。さらに、NIKON NSR 2005 i11Cの先進的なカメラアセットにより、処理中のウェーハの正確なアライメントが保証されます。ニコンNSR 2005 I 11 Cは、驚異的な精度と精度を提供する強力なウェーハステッパーです。画像高さ監視システムや保護エンクロージャなど、幅広い機能を備えたこの機器は、正確なアライメントと高解像度でウェーハを簡単に製造するのに役立ちます。