中古 NIKON NSR 2005 i10C #9408445 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cは、半導体リソグラフィ分野で採用されている高度なウェーハステッパーです。このステッパーにはスキャンとアライメント装置の両方が含まれており、メーカーは希望する製品を複数のチップに正確にパターン化することができます。高精度の操作を確保し、信頼性の高い製品歩留まりを保証するために、システムは、さらに劣った製品の生産歩留まりを保証する自動アライメントと欠陥レビューが装備されています。NIKON NSR 2005I10Cは、高精度なリソグラフィ結果を提供するフルフィールドステップアンドスキャンユニットです。NA （Numerical Apertures）が0。68、0。9、0。78の高度な光学技術により、最大0。25マイクロメートルの最小のフィーチャーサイズをパターン化できます。さらに、洗練されたスキャンアライメントツールにより、ウェハをレチクルに確実に合わせることができ、小さな欠陥領域をスキャンすることができます。この資産には露光制御用のリソグラフィーヘッドが装備されており、生産に幅広い露光オプションを提供します。NSR-2005I10Cには、8軸モータ駆動、動的精度制御、全自動ツールアルゴリズム、自動露出制御を備えた独自のシングルウエハステージも装備されています。ステッパーは自動校正モデルにより、分子やウェーハの変形を測定することができ、露光時間や照明をより正確に調整することができます。これにより、チップ上の機能の信頼性と正確な露出が可能になり、生産精度と歩留まりが向上します。さらに、最大6インチ/秒の高速スキャン機能を備え、製造メーカーは1ステップで複数のチップを製造できます。その視野（FOV）は、ほとんどの従来モデルよりも大きく、より大きなカバレッジとスキャン時間を可能にします。さらに、タンデムスキャンとアライメント機能により、複数のチップにわたってパターンを正確にステッチすることができ、高収量の生産が可能になります。全体として、NIKON NSR 2005 I 10 Cは、高精度のウェーハステッパーであり、高精度で信頼性の高い性能を提供します。その優れた光学系、高度なスキャンおよびアライメントシステム、シングルウェーハステージ、FOVおよびオートメーション機能は、幅広い露光およびリソグラフィーのオプションを提供し、一貫した生産結果を保証します。