中古 NIKON NSR 2005 i10C #9408135 を販売中
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ID: 9408135
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Stepper, 8"
Control rack
KOMATSU BCE-5051-A Chiller
Electric source: NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Computer type: NEST3
EPROM Chamber:
Type: SENDAI S04
Body size: 1950 mm
Set temperature:
Chamber: 25°C
IATC: 25°C
LLTC: 25°C
ROM Version:
Reticle:
Loader: RL-04V7.00
Stage: RA-81V1.70
Wafer:
Stage: ST-63V3.50, XY-63V2.90
Loader: WF-80V3.70
Sensor: WA-6DV2.50
Operational panel: PA-61V2.51
Lens controller: LC-6NV2.20
HEWLETT PACKARD 5517B Laser:
Lamp power: 1.75 kW
LSA Laser: 5 mW
Fixed reticle microscope: 20 mm
Wafer type: SILICON, 8"
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Ring
OF Detection type: Notch, 8"
Wafer loader: Type1
Notch wafer type: 90°
Right wafer carrier table
Reticle, 6"
FIA
Reticle library type: NIKON
13-Slots
Rack type: Right
SHRINC
Does not include:
In-line
LIA
PPD / PD
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10Cは、半導体製造に使用されるハイエンドの超精密ウェーハステッパーです。高精度で再現性の高いチップなどの部品を製造することが可能な高度で適応性の高い機械です。NIKON NSR 2005I10Cには、200mmウェーハプラットフォームを備えた自動化された変更されたテレセントリック光学機器があります。光学システムは優秀な軽い適用範囲および明快さを提供し、さまざまなウエハーのサイズに対応するために調節することができます。また、光学系はクロマチックに補正され、ナノメートル分解能の画像を生成することができます。また、i10Cは高速10メガピクセル（MP）カメラと高解像度レンズを備えており、画像を迅速かつ正確にキャプチャします。カメラは、高周波照明から紫外（UV）光まで幅広い周波数をキャプチャするように特別に設計されています。ステッパーは、1ピクセルあたり最大10mmの高解像度で、1時間あたり最大5000露光で高品質の画像を生成することができます。画像は毎秒9。6ギガバイトの速度でキャプチャされ、2テラバイトのソリッドステートドライブに保存されます。i10Cの高速で大容量のストレージにより、データが失われないようにします。NSR-2005I10Cには強力なアライメントユニットもあります。5軸補正技術を利用して、物理部品と電子部品、光学部品の両方を調整し、アライメントと精度を確保します。アライメントマシンは、チップ部品の極めて精密な加工と微細加工を可能にします。i10Cは容易な維持のために設計され、自己診断および予防の維持が可能です。このツールは、リモート監視のための診断サーバーに接続することができます。このマシンには直感的でユーザーフレンドリーな運用資産もあり、初心者のオペレータでも効率的に使用でき、ステッパーから最高のものを得ることができます。NSR 2005 i10Cは、非常に高品質な画像を迅速かつ正確に作成できる、強力で正確で信頼性の高いウェーハステッパーです。高度な光学、高解像度カメラ、強力なアライメントモデルにより、複雑で超精密な部品の製造に最適です。
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