中古 NIKON NSR 2005 i10C #9389865 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cウェーハステッパーは、汎用性と高性能の半導体デバイス製造ツールです。これは、最大0。25 μ mの高解像度リソグラフィープロセスをコスト効率よく実行するために設計されています。この装置は高精度のサンプル動きのような高度装置の特徴を、提供します；環境振動に対する高い安定性；サンプルアライメントを補助するオートフォーカスです。このウェーハステッパーは、高分解能の光学投影と、光学近接補正（OPC）を含む幅広いプロセス範囲を組み合わせています。これにより、ファインラインVLSI製造およびナノスケールのデバイス製造の厳しい要件に最適です。ウェーハステッパーは、2つのレーザー干渉計、2つのステージ、2層リソグラフィーヘッド、および加熱されたロードロックで構成されています。二重層リソグラフィーヘッドは、高分解能の0。15 μ m露光が可能で、1回の露光で複数の露光フィールドに対応できます。加熱されたロードロックは、長期的な機械的安定性を必要とせず、短時間で高品質のパターンを生産することができます。ウェーハステッパーには、エアベアリングステージ、オーディオスコープのノイズレベル監視、温度および圧力制御、振動抑制システムなど、より高い安定性を確保するための多くの機能が装備されています。エアベアリングステージは、サンプルを正確に配置し、最高の精度と安定性を実現します。可聴周波システムは機械の騒音レベルを監視し、異常な音が検出されると、単位はすぐにオペレータに警告します。さらに、マシンは優れた露出とオーバーレイ機能を提供します。露出機能は高解像度とコントラストで優れた画質を提供し、オーバーレイ機能は正確なパターンアライメントを提供し、最小許容部品で高いプロセス精度を実現します。ウェーハステッパーは、露光時間の短い高精度パターンの製造に最適です。優れた解像度と精度を提供し、スループットと歩留まりの面で高い生産性を発揮します。このツールは安全で汎用性が高く、さまざまなプロセスやアプリケーションに合わせてカスタマイズできます。