中古 NIKON NSR 2005 i10C #9378020 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cは、ウェーハ表面に集積回路（IC）フォトマスクパターンを生成するために使用されるコンピュータコントロールマシンです。このタイプのステッパーは、高解像度の画像投影を使用して、マスクパターンをウェハに正確に転送します。ニコンNSR 2005I10C装置は、レーザースキャン投影システムを使用して、単層マスクをウェーハに転送するように設計されています。ウェーハ上に高精度かつ高速なフォトマスクパターンを届けることができます。スキャナは、ウェーハに回転開口部を通して焦点を合わせたレーザーを使用します。スキャナには高速スキャン機能とステップ&リピート・アライメント機能があります。投影ユニットは、高いレベルのアライメント精度を提供し、登録エラーを「ナノメートルレベル」に維持するように設計されています。NSR-2005I10Cは、高精度と高性能を提供するために一緒に動作するコンポーネントの数で構成されています。このウェーハステッパーには、パターンジェネレータ、フォトマスク、レチクルステージ、4軸リフレックスモジュール、イメージセンサー、オブジェクトレンズが含まれています。パターンジェネレータは、ウェーハに投影されるパターンを生成する責任があります。フォトマスクは、ウェーハに印刷されるパターンを含むリソグラフィックテンプレートです。レチクルステージは、フォトマスクを保持し、レーザーがスキャンするための正しい位置にフォトマスクを移動する自動プラットフォームです。4軸反射モジュールは、ウェーハの4つの自由度（X、 Y、 Θ x、 Θ y）を測定および調整するために設計された制御装置です。イメージセンサーは対象レンズに取り付けられ、ウェーハに投影された画像をキャプチャするために使用されます。対象レンズは、レーザー投影機をウェハ上に集中させる役割を担っています。NIKON NSR-2005I10Cツールは、ウェーハに高精度で高速なフォトマスクを届けるように設計されています。これは、登録エラーの非常に低いレベルで高解像度のパターンを転送することができます。また、高速スキャンとステップアライメント機能を提供することができます。また、このウェーハステッパーには、統合された自動露出調整アセット、高レベルのアライメント精度、パターン生成ツールボックスなどの多くの機能が含まれています。全体として、NIKON NSR-2005 I 10 Cウェーハステッパーは、集積回路フォトマスクパターンをウェーハ表面に生成するために使用されるコンピュータ制御マシンです。高精度で高速なフォトマスクをウェーハに供給するように設計されており、高い精度と性能を提供する多くの機能が含まれています。