中古 NIKON NSR 2005 i10C #9311681 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cは、高精度のリソグラフィーソリューションを提供する最先端のウェーハステッパーです。NIKON NSR 2005I10Cは、高度な露光技術により、高解像度でパターンや形状を生成することができます。これは、集積回路、マイクロメカニカル部品、およびマイクロマシンを製造するための高度な露光装置です。NSR-2005I10Cは7。2mm×7。2mmの視野と理論上の最小ベクトルサイズの0.18µmを提供します。そのステップモータは、投影光学系の高速かつ効率的なアライメントを提供します。このシステムには露出制御ユニットも装備されており、あらゆるデバイスの処理を最適化するためにプログラム可能な全体的な露出時間と線量率を可能にします。NIKON NSR-2005I10Cは、マルチファイバー、ムーン、グリッド、可変PRマスクモードなどの複雑な形状を作成するための高度な露出モードを提供しています。これらにより、ウェーハを複数のパターンで同時に露出させ、半導体デバイス上で高いアスペクト比の構造を作ることができます。さらに、NIKON NSR-2005 I 10 Cは多目的レチクルチェンジャーを備えており、柔軟性の向上とイメージングオプションの改善のために、さまざまなレチクルから選択することができます。NSR 2005I10Cは、最高の画質を提供するために、非常に効率的な光学ユニットを備えており、光信号の非常に小さな収差を可能にします。さらに、ウェーハステッパーには、異なるレベルの解像度を生成するために使用できる2つの対物レンズが装備されています。NSR-2005 I 10 Cは、内蔵の安全機能で設計されており、異常な高温または湿度レベルを検出し、機械を自動的にシャットダウンします。さらに、このツールは統合されたパーティクルカウンターを備えており、ユーザーは画像資産に存在する粒子を検出することができます。NSR 2005 i10Cは、高解像度、低コストのリソグラフィーソリューションに最適です。その高度な露光技術と高効率光学モデルは、集積回路、マイクロ機械部品、およびマイクロマシンの製造に最適です。