中古 NIKON NSR 2005 i10C #9283324 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cは、半導体デバイスの製造に使用するために設計された最先端のウェーハステッパーです。この可変スポットサイズの投影露光装置は、実績のある72チャンネルイルミネーションシステムと高速水晶水晶屈折レンズユニットを備えています。優れたイメージング精度とオーバーレイ精度を実現し、シングルウエハから6インチウエハまで容易に取り扱うことができます。NIKON NSR 2005I10Cは、高速で高精度なXYモーターステージで設計されています。このモーターステージは、ウェーハの迅速かつ正確な位置決めを可能にし、高精度なアライメントと超微細スキャン制御を提供します。機械の光学は色収差のない高輝度および速いイメージ投射の速度を可能にする屈折性の水晶レンズに基づいています。NSR-2005I10Cは、均一な照明と優れたノイズ耐性を提供する72チャネルのTTL照明ツールを備えています。このアセットは、露光プロセスを微調整するために、多波長の照明光で高度な光学系を使用することを可能にします。また、高速ウェーハインデックス機構を搭載し、精密なウエハ搬送が可能です。高速ウエハハンドラと組み合わせることで、大きなウエハーでも高い歩留まりを実現します。この装置は、高性能でユーザーフレンドリーなCoolViewerオペレーションソフトウェアで自動化されており、全体の動作時間を大幅に短縮することができます。このシステムは、自動または手動のアライメントモード、および1nmの精度でフォーカスする自動ターゲットも備えています。NIKON NSR-2005 I 10 Cウェーハステッパーは、高い精度、操作性、自動化を備えたウェーハ加工に最適です。このユニットは、優れた画像品質と精度を提供し、要求の厳しいマイクロチップの生産ニーズに非常に適しています。